全自動・多目的薄膜分析用XRD 装置 JV-DX
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■全自動・多目的 薄膜分析用XRD 装置Bruker JV-DX装置は薄膜X線分析に用いられるあらゆる測定手法を全自動でこなすことができる最新の装置です。入射光学系や受光光学系は完全に自動化されており、ユーザーの介在無しに広角XRD、高分解能XRD、X線反射率を自動で切り替えて測定が可能です。

測定はレシピ内で完全に自動化されており、結晶相の定性分析、結晶配向を調べる極点分析、極薄膜を測定する低角入射 (薄膜法) からXRRを利用した膜厚、密度、ラフネスの測定や高分解能XRDによる組成・膜厚測定まで全自動で測定が可能です。セミマニュアルモードを選択するとさらに難解な測定を実施可能です。

試料ステージは300mmウェハの全面マッピングに対応しており、ウェーハ自動搬送ロボットとを組み合わせることも可能です。

型番
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シリーズ
全自動・多目的薄膜分析用XRD 装置 JV-DX

取扱企業
ブルカージャパン株式会社

カテゴリ

測定機器

X線回折装置

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会社概要

ブルカージャパン株式会社は、高性能科学機器や、分析・診断ソリューションの開発・製造・販売を行っている企業です。本社所在地は神奈川県横浜市であり、1975年に設立されました。化学、生物、工業材料の試料に対する分析装置...

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