全自動・多目的 薄膜分析用XRD 装置 JV-DX ブルカージャパン株式会社
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この製品について
■全自動・多目的 薄膜分析用XRD 装置
Bruker JV-DX装置は薄膜X線分析に用いられるあらゆる測定手法を全自動でこなすことができる最新の装置です。入射光学系や受光光学系は完全に自動化されており、ユーザーの介在無しに広角XRD、高分解能XRD、X線反射率を自動で切り替えて測定が可能です。 測定はレシピ内で完全に自動化されており、結晶相の定性分析、結晶配向を調べる極点分析、極薄膜を測定する低角入射 (薄膜法) からXRRを利用した膜厚、密度、ラフネスの測定や高分解能XRDによる組成・膜厚測定まで全自動で測定が可能です。セミマニュアルモードを選択するとさらに難解な測定を実施可能です。 試料ステージは300mmウェハの全面マッピングに対応しており、ウェーハ自動搬送ロボットとを組み合わせることも可能です。-
シリーズ
全自動・多目的 薄膜分析用XRD 装置 JV-DX
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取扱企業
ブルカージャパン株式会社
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全自動・多目的 薄膜分析用XRD 装置 JV-DX 品番1件
| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) |
|---|---|---|
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JV-DX |
要見積もり |
のついている項目名や値は、Metoreeの自然言語処理アルゴリズムを用いて自動生成された値です。各メーカーの製品を横断して比較しやすくするための参考としてご利用ください。自動生成データは黒色の文字、元データは灰色の文字です。
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