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CMPプロセス・材料特性評価機 TriboLab CMP-TriboLab CMP
CMPプロセス・材料特性評価機 TriboLab CMP-ブルカージャパン株式会社

CMPプロセス・材料特性評価機 TriboLab CMP
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この製品について

■CMPプロセス・材料特性評価システム

TriboLab CMPは高い堅牢性を備えたブルカーの摩擦摩耗試験機UMT TriboLabをベースに開発された、CMP (化学機械研磨) プロセス開発向けの評価において高いパフォーマンスを提供します。 CMPプロセスで用いるパッド・スラリーなどの消耗材評価に対し、幅広い研磨圧力、 (0.05～50 psi) 及び、回転速度 (1～500 rpm) 、摩擦係数計測、AE信号 (アコースティック・エミッション) 、サンプル温度計測などが可能となります。ブルカーのTriboLab CMPプロセス・材料評価システムは、信頼性が高く、費用対効果の高いベンチトップ型のウエハ化学研磨プロセス環境を再現を可能にします。

  • シリーズ

    CMPプロセス・材料特性評価機 TriboLab CMP

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CMPプロセス・材料特性評価機 TriboLab CMP 品番1件

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TriboLab CMP

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対応ウェハーサイズ インチ

0 - 4 4 - 6 6 - 8 8 - 10 10 - 12

プレート回転速度 min-1

0 - 70 70 - 100 100 - 200 200 - 240

電源仕様 V

2 - 50 50 - 120 120 - 200

重量 kg

0 - 50 50 - 150 150 - 200

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会社概要

ブルカージャパン株式会社は、高性能科学機器や、分析・診断ソリューションの開発・製造・販売を行っている企業です。 本社所在地は神奈川県横浜市であり、1975年に設立されました。 化学、生物、工業材料の試料に対する分析装置...

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