CMPプロセス・材料特性評価機 TriboLab CMP-TriboLab CMP

CMPプロセス・材料特性評価機 TriboLab CMP
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この製品について

■CMPプロセス・材料特性評価システムTriboLab CMPは高い堅牢性を備えたブルカーの摩擦摩耗試験機UMT TriboLabをベースに開発された、CMP (化学機械研磨) プロセス開発向けの評価において高いパフォーマンスを提供します。

CMPプロセスで用いるパッド・スラリーなどの消耗材評価に対し、幅広い研磨圧力、 (0.05～50 psi) 及び、回転速度 (1～500 rpm) 、摩擦係数計測、AE信号 (アコースティック・エミッション) 、サンプル温度計測などが可能となります。ブルカーのTriboLab CMPプロセス・材料評価システムは、信頼性が高く、費用対効果の高いベンチトップ型のウエハ化学研磨プロセス環境を再現を可能にします。