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DCプラズマドライブ装置-NP1S
DCプラズマドライブ装置-日本電子工業株式会社

DCプラズマドライブ装置
日本電子工業株式会社



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この製品について

プラズマは高エネルギーを得られるため、半導体・電子・光学・精密機械分野等の薄膜製造に、また表面改質分野といった幅広い分野で使用されています。本DCプラズマドライブは、直流放電をパルス化し、放電時に発生し悪影響を及ぼすアーク放電を完全に遮断することを目的に開発されました。DCプラズマドライブは操作簡単・小型化・軽量を可能にしたプラズマ用直流電源です。 アーク放電を高速遮断できることにより、直流プラズマを用いた薄膜用スパッタ・プラズマCVD・プラズマ熱処理等全ての処理の電源としてご利用いただけます。

■DCプラズマドライブ装置の特長

・特長1 トランジスタ採用により小型軽量です。 ・特長2 2μsec以下の高速アークを遮断します。 ・特長3 液晶ディスプレーによるわかりやすい操作盤です。 ・特長4 操作部と電源部を離して使用可能です。 ・特長5 直流電圧のパルス化により高いイオン密度になります。

■使用用途

・プラズマ熱処理用電源 ・プラズマCVD用電源 ・PVD用バイアス電源 ・マグネトロンスパッタ用電源 ・各種プラズマ反応装置

  • シリーズ

    DCプラズマドライブ装置

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DCプラズマドライブ装置 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) 表示 制御 操作 パルス周波数 出力 入力
DCプラズマドライブ装置-品番-NP1S

NP1S

要見積もり

150×100 液晶ディスプレー

電流・電圧・電力制御

手動・フロント・リモート

33KHZ

10KW
(700V×13A)
(420V×23A)

200V×47A
3相 16KVA

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使用用途

#通信制御 #産業機器 #試験評価 #バッテリー #並列冗長 #高所対応 #医療機器 #システム用 #半導体製造装置

電力変換方式

リニア電源型 スイッチング電源型 デジタル制御電源型

出力特性

定電圧型 定電流型 可変出力型

出力チャネル数

単出力型 多出力型

入力方式

AC入力型 DC入力型 ユニバーサル入力型

構造形態

オープンフレーム型 クローズド型 ラックマウント型 卓上型

出力電圧 V

0 - 30 30 - 60 60 - 100 100 - 200 200 - 500

出力電流 A

0 - 1 1 - 5 5 - 10 10 - 20 20 - 50 50 - 100

出力電力 W

0 - 50 50 - 100 100 - 200 200 - 500 500 - 1,000 1,000 - 4,000

入力電圧 VAC

0 - 100 100 - 200 200 - 300 300 - 360 360 - 550

動作周囲温度 ℃

-20 - -10 -10 - 0 0 - 40 40 - 50 50 - 70

保存周囲温度 ℃

-25 - -10 -10 - 0 0 - 20 20 - 40 40 - 60 60 - 80 80 - 100

絶縁耐圧 VAC

100 - 500 500 - 1,000 1,000 - 2,000 2,000 - 3,000 3,000 - 4,500

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この商品の取り扱い会社情報

会社概要

日本電子工業株式会社は、1957年に設立された表面処理加工メーカーです。 急加熱・急冷却により焼入れ硬化させる高周波焼入れや耐久性・加工性能向上のためのセラミックコーティングなどの表面加工のほか、短時間の表面焼入れがで...

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