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半導体先端パッケージ向け塗布装置 TRENG-PLPコータ-TRENG-PLPコータ
半導体先端パッケージ向け塗布装置 TRENG-PLPコータ-東レエンジニアリング株式会社

半導体先端パッケージ向け塗布装置 TRENG-PLPコータ
東レエンジニアリング株式会社



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この製品について

■概要

半導体先端パッケージ向けパネルレベル塗布装置。ディスプレイ分野で確立した高精度塗布・大型ガラス搬送技術を半導体先端パッケージ向け製造装置へ展開。 特長

■高精度塗布技術

・キーデバイスの内製化により、タイムリーな開発・高品質塗布を実現。 ・ムラや膜厚精度の要求が厳しいLCD用途でNo.1の実績。 ・低粘度~高粘度の幅広い材料に対応。

■塗布~乾燥までのトータル提案

・洗浄~塗布~乾燥~Cureの一貫ラインでのプロセス提案が可能。 ・デモラインによるプロセスサポート。

■反り基板搬送

・各プロセスユニットに独自の反り矯正機構を搭載することで均一性の高い成膜を実現。 ・主要な反り形状 (Smile/Cry) に対応可能。

■用途

・ガラスコア・サブストレート ・ガラスキャリアサブストレート ・2.1D ・2.3D ・2.xD ・FOPLP (ファンアウトパネルレベルパッケージ) ・有機インターポーザ ・RDL (再配線層) ・PID (絶縁層) ・メッキレジスト ・キャリア剥離層 (リリースレイヤー)

■その他

対応粘度、1,000cP以上についてはオプション対応です。

  • シリーズ

    半導体先端パッケージ向け塗布装置 TRENG-PLPコータ

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半導体先端パッケージ向け塗布装置 TRENG-PLPコータ 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) 対応基板サイズ 塗布材料 塗布方法 対応粘度 オプション
半導体先端パッケージ向け塗布装置 TRENG-PLPコータ-品番-TRENG-PLPコータ

TRENG-PLPコータ

要見積もり

~600×600mm

PID、PR、TBDB

Slit-Dieによる塗布液の吐出、ステージ移動

1cP~1,000cP

真空乾燥装置、ホットプレート/コールドプレート、EFEM、インライン検査ユニット (外観・膜厚・基板反り量・基板応力)

フィルターから探す

塗布装置をフィルターから探すことができます

使用用途

#電子部品製造 #フラットパネル製造 #半導体パッケージング #医薬品製造 #自動車部品加工 #電池製造 #接着剤塗布 #コーティング試験 #印刷工程 #光学部品加工

塗布方式

スリットコータ グラビア コンマ スロットダイ ミニスロットダイ ロールコーター バーコーター スプレー スイング ニードル転写 駆動パルス メカニカルポンプ

対応粘度 mPa・s

1 - 100 100 - 1,000 1,000 - 3,000 3,000 - 10,000 10,000 - 20,000 20,000 - 100,000 100,000 - 200,000 200,000 - 500,000

塗布速度 mm/s

1 - 10 10 - 100 100 - 300 300 - 800

塗布幅 mm

0 - 100 100 - 300 300 - 400 400 - 1,000

位置決め精度 mm

0 - 0.01 0.01 - 0.1 0.1 - 0.5

制御方式

PC/PLC制御 PTP/CP制御 乾燥炉2連 乾燥炉3連 エレクトロ/ニューマティック マイコン制御

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この商品の取り扱い会社情報

会社概要

東レエンジニアリング株式会社は、東京都中央区に本社を置き、プラント建設や機器・設備の開発とものづくりを手掛ける企業である。 1960年、「東洋工事(株)」を設立。1969~1980年に、住宅事業、物流事業、環境事業、原...

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  • 本社所在地: 東京都
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