超高精密フェムト秒レーザー加工機
株式会社光響

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この製品について

■光響製 超高精密フェムト秒レーザー加工機とは3波長の超短パルスレーザー (フェムト秒レーザー、ピコ秒レーザー) が出せる加工研究用UVフェムト秒レーザー光源と高精密加工機から構成されております。波長はUV、グリーン、1μmの3波長の自動切り替えが可能で、パルス幅は500 fsから5 psまで可変。

レーザー加工に解を求める先端産業技術者にとって、最適な解を導き出せる最高性能マシンに仕上がっております。レーザー光源は他社製品も組み込み可能で、ユーザー目線での技術コンサルティングから受託加工、試作機製作まで幅広く対応可能でございます。

■特長・各種素材にベストカップリングなレーザー光の選択が可能
・サブミクロン分解能ステージ、フルデジタルガルバノスキャナー、テレセントリックfθレンズを装備し、共通データの利用が可能
・高速レーザーコントローラーによる等ピッチパルスオンデマンド加工が可能
・波長1 μmにおいては、多点ビームや歪み補正ができる空間位相変調器 (LCOS-SLM) と光響製CGHソフトの利用が可能
・光響製ビームプロファイラの利用が可能
・リモート制御、リモートメンテナンスが可能
・剛性劣化が僅少かつ線膨張率が小さなグラナイト石仕様
・ステージのリニアガイド取り付け面はJIS00級仕上げ
・ガルバノスキャニング加工とステージ直線加工を組み合わせたスティッチ加工が可能
・モーションコントロール速度1.0 m/s時、周期20 ns/距離20 nmでレーザーパルスを1ショット毎に切り出し可能

■用途・金属、セラミクス、樹脂、ガラスへのコールドアブレーション加工
・溝彫り、彫刻、マーキング、切断、穴あけ
・薄膜加工、除去加工、改質加工
・透明体への多光子吸収プロセス加工
・ナノ周期構造加工、生体模写加工
・各種機能付与テクスチャー加工
・有機ELやMicroLED等のディスプレイ製造プロセス
・電子デバイス用フレキシブルプリント基板試作
・開発向けパターニング加工
・リモートレーザー加工

型番
この商品には1種類の型番があります

シリーズ
超高精密フェムト秒レーザー加工機

取扱企業
株式会社光響

カテゴリ

加工・工作機器

レーザーマーカー

加工・工作機器

レーザー加工機

光源

超短パルスレーザー

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超高精密フェムト秒レーザー加工機品番1件

商品画像	品番	価格 (税抜)	中心波長	最大パルスエネルギー	最大平均出力	繰り返し周波数	パルス幅	パルス幅チューニングレンジ	ビーム品質	バーストモード	レーザーパルス幅	レーザー波長	スキャナ制御	ステージ制御	ステージ精度	ステージ加工モーション	レーザー同期
	femt-pro	要見積もり	基本波 : IR 1,030 nm SHG : Green 515 nm THG : UV 343 nm	基本波 : 2 mJ SHG : 500 μJ THG : 250 μJ	基本波 : 80 W SHG : 40 W THG : 20 W	~ 2 MHz	340 fs	340 fs ~ 10 ps	M2 < 1.2	GHzバースト、MHzバースト、BiBurst (GHzバースト in MHzバースト)	500 fs ~ 5 psの自動可変 (他社の光源も組み込み可能)	UV、グリーン、1 μmの3波長自動切り替え	ラスター、ベクトル、ドット (定点PTP) 、ビットマップ	リニアスケールによるフルクローズドループ	1 μm	ラスター/ベクター/2D、2.5D補間モーション	パルスオンデマンド (オプション)