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プラズマ処理装置 R220W取扱企業
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商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | 対象物形状 | 装置サイズ (W) | 装置サイズ (D) | 装置サイズ (H) | 重量 (kg) | 電力 | 冷却水 | 圧縮空気 | パージガス | プロセスガス | ユーティリティ / その他 | 設置可能 最大サイズ | 処理面 |
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
R220W |
要見積もり |
シート / フィルム |
1730mm |
2530mm |
2000mm |
1800Kg |
三相 AC200V 52kVA |
30L / min 以上 (結露無きこと) |
0.5~0.7MPa 20NL / min.以上 |
5~200SLM (プロセスによる) |
O2,Ar,CF4,N2,H2,Heなど (プロセスによる) |
排気ダクトを要す |
630mm × 640mm |
両面 |