高真空アングルバルブ
入江工研株式会社

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■概要IKCの高真空アングルバルブは豊富な実績をもつ成形・溶接ベローズを内蔵した長寿命の真空バルブです。取り扱いが非常に便利なISO規格のNW-KFフランジ付きと、超高真空用及び有毒なガス系にも使用可能なコンフラットフランジ付き、又一般JIS真空フランジ付きの3種類の接続形式に、手動及び自動 (圧空式) をシリーズ化しました。また、バルブのメンテナンス期間を延長させる目的で、LXシリーズ (100万回仕様) も新しく規格品として用意しました。

■特徴・バルブ材質の真空側は全てステンレス (SUS) で構成されています。
・全体がコンパクト設計により小型、軽量化されています。
・正圧、逆圧、どちらも0.15MPaの差圧でも漏れません。
・取り付け姿勢が自由。 (特に指定のない場合は、圧力変動の大きい方に弁座が向く取り
付け姿勢を推奨しております。) 
・機能設計により大きなコンダクタンスが得られます。
・片側回転フランジのため、取付けが容易。 (コンフラットフランジ) 

型番
この商品には1種類の型番があります

シリーズ
高真空アングルバルブ

取扱企業
入江工研株式会社

カテゴリ

弁

真空バルブ

弁

アングルバルブ

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高真空アングルバルブ品番1件

商品画像	品番	価格 (税抜)	フランジ種類	タイプ	使用圧力	リーク量	寿命回数	操作圧力	ベークアウト温度 (耐熱温度)	主要構成材料バルブボディ	主要構成材料ベローズ	主要構成材料シリンダ	主要構成材料弁座シール	主要構成材料ボンネットシール
	1FLV-16M0 KF16	要見積もり	NW-KFフランジ	手動	大気圧 ~ 1 × 10^-6 Pa	＜ 1 × 10^-10 Pa･m3/s	□ FLV ( 手動 ) 　 5 万回	0.5 ~ 0.6MPa (自動)	バルブボディ 120℃ (MAX) ニューマチックアクチュエータ 65℃ (MAX) 電磁弁付きの場合 50℃ (MAX)	SUS304	SUS316L ( □ FLV)	アルミニウム	バイトン ®	バイトン ®

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使用用途

#半導体製造 #液晶製造 #真空搬送

操作方式

手動式空圧式電動式

接続方式

フランジ接続

特殊機能

ベローズシール型高温対応型クリーン対応型

0 - 5 5 - 10 10 - 50

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入江工研株式会社は、半導体製造装置用各種真空ベローズや、真空バルブなど、真空装置付属機器を製造しているメーカーです。

1966年の会社設立当初は空調用伸縮継手の他に、鉄道関係のベローズなどを製作していま...

本社所在地: 東京都

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