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ナノメートルオーダーの薄膜の熱物性が測定可能な唯一の装置 パルス光加熱サーモリフレクタンス法熱拡散率測定装置 NanoTR-NanoTR
ナノメートルオーダーの薄膜の熱物性が測定可能な唯一の装置 パルス光加熱サーモリフレクタンス法熱拡散率測定装置 NanoTR-NETZSCH Japan株式会社

ナノメートルオーダーの薄膜の熱物性が測定可能な唯一の装置 パルス光加熱サーモリフレクタンス法熱拡散率測定装置 NanoTR
NETZSCH Japan株式会社



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この製品について

■特徴

・厚さ数十nm~数十μmの薄膜の熱拡散率や熱浸透率、界面熱抵抗を測定することが可能 ・裏面加熱/表面測温方式 (RF方式) と表面加熱/表面測温方式 (FF方式) の両方式を搭載しており、基板の種類を問わず測定することが可能 ・ (独) 産業技術総合研究所が国家標準として供給している熱拡散時間標準薄膜 (RM1301-a) により検証された、SIトレーサブルな装置 ・JIS R 1689 「ファインセラミックス薄膜の熱拡散率の測定方法ーパルス光加熱サーモリフレクタンス法」、JIS R 1690 「ファインセラミックス薄膜と金属薄膜との界面熱抵抗の測定方法」に準拠

■原理

パルス光加熱サーモリフレクタンス法は、基板上に形成された薄膜試料をパルスレーザーで瞬間的に加熱し、薄膜内部への熱拡散による表面温度の低下速度あるいは裏面温度の上昇速度を測定することにより、薄膜の膜厚方向の熱拡散率または熱浸透率を求める計測技術です。 レーザーフラッシュ法を超高速化した、パルス光加熱サーモリフレクタンス法によって世界で初めて薄膜の熱拡散率、熱伝導率の測定が可能になりました。

  • シリーズ

    ナノメートルオーダーの薄膜の熱物性が測定可能な唯一の装置 パルス光加熱サーモリフレクタンス法熱拡散率測定装置 NanoTR

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ナノメートルオーダーの薄膜の熱物性が測定可能な唯一の装置 パルス光加熱サーモリフレクタンス法熱拡散率測定装置 NanoTR 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) 温度範囲 パルス幅/波長/ビーム径 測定膜厚方法 測定項目
ナノメートルオーダーの薄膜の熱物性が測定可能な唯一の装置 パルス光加熱サーモリフレクタンス法熱拡散率測定装置 NanoTR-品番-NanoTR

NanoTR

要見積もり

RT ~ 300 ℃

1 ns / 1,550 nm / 100 µm

樹脂:30 nm ~ 2 µm
セラミックス:300 nm ~ 5 µm
金属:1 ~ 20 µm

熱拡散率/熱浸透率/熱伝導率/界面熱抵抗

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使用用途

#樹脂 #食品 #医薬品 #セラミックス #金属材料 #建材

測定原理

示差熱分析型 熱重量測定型 示差走査熱量測定型 熱機械分析型 動的粘弾性測定型

温度制御方式

電気加熱型 赤外加熱型 冷熱両用型

測定環境

空気雰囲気型 不活性ガス雰囲気型 真空雰囲気型 水蒸気雰囲気型

特殊機能

マルチモジュール型 高温対応型 微小試料対応型 自動サンプルチェンジャー付き型

温度範囲 ℃

-200 - 0 0 - 100 100 - 300 300 - 500 500 - 1,000 1,000 - 1,600

加熱速度 ℃/分

0 - 1 1 - 10 10 - 100 100 - 500 500 - 1,000 1,000 - 2,000

温度精度 ℃

0 - 0.01 0.01 - 0.1

測定精度 %

0 - 1 1 - 10

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