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産業用ロボット 半導体ウエハ、有機EL、液晶・太陽電池用ガラス搬送 5軸水平多関節：SEMISTAR-GEKKO MD124D取扱企業
岡本機工株式会社カテゴリ
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搬送ロボットの製品164点中、注目ランキング上位6点
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| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | 対応FOUP数 | 適用コントローラ | 仕様 | 適用ウエハサイズ | ウエハ把持方式 | 標準エンドエフェクタ長 | 自由度 | 動作範囲 EX軸 (伸縮) | 動作範囲 TH軸 (旋回) | 動作範囲 Z軸 (昇降) | 動作範囲 H軸 (回転) | 最小回転半径 | 位置繰返し精度 | 本体質量 | クリーン度 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|
SEMISTAR-GEKKO MD124D |
要見積もり |
4FOUP |
SR200 |
標準 |
300 mm (SEMI規格準拠品) |
パッシブグリップ (真空吸着グリップ、エッジグリップも対応可能) |
345 mm |
5自由度 |
1,215 mm |
330° |
480 mm/468 mm |
440° |
510 mm |
0.05 mm (P-P) |
86 kg |
ISOクラス1 |
搬送ロボットをフィルターから探すことができます
使用用途
#工場内搬送 #医療施設内搬送 #食品工場搬送 #半導体製造搬送 #重量物搬送 #長距離搬送 #自動倉庫連携 #多拠点間搬送最大積載量 kg
0 - 100 100 - 300 300 - 600 600 - 1,000 1,000 - 1,500 1,500 - 2,000 2,000 - 3,000 3,000 - 4,000バッテリー性能稼働時間 時間
4 - 8 8 - 10 10 - 24 24 - 25定格荷重 kg
0 - 100 100 - 300 300 - 600 600 - 1,000 1,000 - 1,500 1,500 - 2,000 2,000 - 3,000 3,000 - 4,000モーション性能位置決め精度 mm
5 - 10 10 - 15動作時間 sec
0 - 1 1 - 2 2 - 3 3 - 4重量 kg
0 - 100 100 - 200 200 - 300 300 - 400 400 - 700 700 - 800 800 - 900動作範囲 m²
-600 - 0 0 - 1,000 1,000 - 11,000
