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ウェーハカセットチェンジャー-PCT2022
ウェーハカセットチェンジャー-PHT株式会社

ウェーハカセットチェンジャー
PHT株式会社



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この製品について

本装置は、所定のカセットに収納された200㎜・300㎜用ダイシングフレームを標準カセットに入れ替えるシステムです。 使用するカセットは、6枚入カセット・13枚入カセットです。各カセットは作業者がステージに供給します。

  • シリーズ

    ウェーハカセットチェンジャー

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ウェーハカセットチェンジャー 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) サイズ 厚さ 反り 接触可能範囲 標準カセット フレーム収納ピッチ タクトタイム・搬送時間
ウェーハカセットチェンジャー-品番-PCT2022

PCT2022

要見積もり

200mm・300mm

1.22 ± 0.08mm

0.25mm以下

裏面

6枚入カセット・13枚入カセット

15mm

180秒/13枚以下

フィルターから探す

搬送装置をフィルターから探すことができます

搬送能力 kg

100 - 500 500 - 1000 1000 - 2000 2000 - 50000 50000 - 100000

走行速度 m/min

10 - 30 30 - 60 60 - 150

電源電圧 V

20 - 30 30 - 60 60 - 150 150 - 200 200 - 230 230 - 250

ワークサイズ mm

0 - 100 100 - 200 200 - 300 300 - 500

重量 kg

0 - 10 10 - 50 50 - 100 100 - 500 500 - 1000

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この商品の取り扱い会社情報

会社概要

PHT株式会社は半導体搬送システム事業、半導体洗浄装置事業を行う企業です。

特徴
PHTは半導体業界の中でウェーハ自動剥離装置(剥離洗浄機)のニッチトップ企業として世界に活躍いたします。

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  • 本社所在地: 東京都
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