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ウェーハ搬送装置-PWT2020
ウェーハ搬送装置-PHT株式会社

ウェーハ搬送装置
PHT株式会社

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この製品について

次世代のシリコンウェーハは、直径が従来の300mmから450mmと1.5倍に大型化され、130gほどであった自重が450g～700gと非常に重くなり、タワミも生ずる。このため、従来の搬送ロボットでは正確なハンドリングが出来ないという課題が生じていた。本装置は、この課題を解決し、大型シリコンウェーハの高速・高精度な搬送を可能とするものである。

■概要

・クリーンロボットを応用したシステムです。 ・300mmのウェーハを1枚単位で、カセット (容器) A～Bへ搬送します。 ・対応するカセット (容器) は、FOUP ・ FOSB ・ OPEN ・ PFAです。 ・1枚単位の搬送が標準ですが、5枚単位 ・ 25枚単位の搬送も対応可能です。 ・カセット間でウェーハを安全に一括搬送 ・ スロット指定搬送 (同一キャリア内搬送可) 致します。 ・カセットからウェーハを持ち上げてロード／アンロードを行うため、カセットとの接触を最小限に抑え、摩耗・発塵・ウェーハ端部の損傷を防ぎます。ウェーハマッピングにより、ウェーハの位置ズレ、二枚重ねなどのローディングエラーを検知します。 誤操作防止センサ、非常ボタン付。

■特徴

・省スペース ・静電気対策型 ・光及び機械センサーでエラーを監視 ・マッピングセンサー付き ・FOUP・FOSB・H-Square社製メタルカセットに対応 ・クラス10クリーンルーム対応

  • シリーズ

    ウェーハ搬送装置

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ウェーハ搬送装置 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) ワーク 装置重量 ワーク厚さ ワークサイズ 電源 カセット (容器) スループット 駆動方式 搬送単位 装置サイズ 安全機構 オプション
ウェーハ搬送装置-品番-PWT2020

PWT2020

要見積もり

半導体基板

約500kg

600~850μm

300mm

AC200V,15A

FOUP・FOSB・OPEN・PFA

25枚/1カセット搬送時間 300秒以下

モーター駆動 (サーボ)

1枚単位 ・ 5枚単位 ・ 25枚単位

W1,000×D1,400×H1,800mm

カセット有無、ウェーハ有無、過負荷検知、
異常警報、非常停止

静電気除去装置 (イオナイザー) ・全面カバー・エリアセンサーIDリーダー・アライメント・ウェーハ反転など

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この商品の取り扱い会社情報

PHT株式会社

会社概要

PHT株式会社は半導体搬送システム事業、半導体洗浄装置事業を行う企業です。

特徴
PHTは半導体業界の中でウェーハ自動剥離装置（剥離洗浄機）のニッチトップ企業として世界に活躍いたします。

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  • 本社所在地: 東京都

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