ウェーハ搬送装置
PHT株式会社

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この製品について

次世代のシリコンウェーハは、直径が従来の300mmから450mmと1.5倍に大型化され、130gほどであった自重が450g～700gと非常に重くなり、タワミも生ずる。このため、従来の搬送ロボットでは正確なハンドリングが出来ないという課題が生じていた。本装置は、この課題を解決し、大型シリコンウェーハの高速・高精度な搬送を可能とするものである。
■概要・クリーンロボットを応用したシステムです。
・300mmのウェーハを1枚単位で、カセット (容器) A～Bへ搬送します。
・対応するカセット (容器) は、FOUP ・ FOSB ・ OPEN ・ PFAです。
・1枚単位の搬送が標準ですが、5枚単位 ・ 25枚単位の搬送も対応可能です。
・カセット間でウェーハを安全に一括搬送 ・ スロット指定搬送 (同一キャリア内搬送可) 致します。
・カセットからウェーハを持ち上げてロード／アンロードを行うため、カセットとの接触を最小限に抑え、摩耗・発塵・ウェーハ端部の損傷を防ぎます。ウェーハマッピングにより、ウェーハの位置ズレ、二枚重ねなどのローディングエラーを検知します。 誤操作防止センサ、非常ボタン付。

■特徴・省スペース
・静電気対策型
・光及び機械センサーでエラーを監視
・マッピングセンサー付き
・FOUP・FOSB・H-Square社製メタルカセットに対応
・クラス10クリーンルーム対応

型番
この商品には1種類の型番があります

シリーズ
ウェーハ搬送装置

取扱企業
PHT株式会社

カテゴリ

搬送器具・装置

搬送装置

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ウェーハ搬送装置品番1件

商品画像	品番	価格 (税抜)	ワーク	装置重量	ワーク厚さ	ワークサイズ	電源	カセット (容器)	スループット	駆動方式	搬送単位	装置サイズ	安全機構	オプション
	PWT2020	要見積もり	半導体基板	約500kg	600~850μm	300mm	AC200V,15A	FOUP・FOSB・OPEN・PFA	25枚/1カセット搬送時間 300秒以下	モーター駆動 (サーボ)	1枚単位・ 5枚単位・ 25枚単位	W1,000×D1,400×H1,800mm	カセット有無、ウェーハ有無、過負荷検知、異常警報、非常停止	静電気除去装置 (イオナイザー) ・全面カバー・エリアセンサーIDリーダー・アライメント・ウェーハ反転など