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高真空アニール装置 SAF-52T-Ⅱ-SAF-52T-Ⅱ
高真空アニール装置 SAF-52T-Ⅱ-株式会社昭和真空

高真空アニール装置 SAF-52T-Ⅱ
株式会社昭和真空



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この製品について

生産の効率化/省スペース

■用途・応用例

水晶振動子などの加工時に生ずる内部応力の歪みの除去。電極膜の安定化

■特長

・本装置は、主に水晶振動子などの加工時に生ずる内部応力の歪みの除去、電極膜の安定化のための熱処理を行う装置です。 ・W460mm×D350mm×H35mmの加熱棚が左右計10段、170mm×134mmの標準トレーを最大60枚収納可能です。 ・独立して稼動可能な処理室を2室有しており、生産の効率化、サイクルタイムの短縮が図れます。

  • シリーズ

    高真空アニール装置 SAF-52T-Ⅱ

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高真空アニール装置 SAF-52T-Ⅱ 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) 排気ポンプ 設置寸法 重量 電源容量 所要水量 所要空圧 所要ガス (N2ガスリーク用) 到達圧力 排気時間 最高温度 常用温度 温度調整精度 昇温時間 処理数 排気系 真空計
高真空アニール装置 SAF-52T-Ⅱ-品番-SAF-52T-Ⅱ

SAF-52T-Ⅱ

要見積もり

RP+TMP

W1,700mm×D900mm×H1,700mm

1,200kg

AC200V/三相/22.4KVA (64.7A) AC200V/three-phase/22.4 kVA (64.7A)

入圧:0.3~0.4MPa 差圧:0.2MPa以上 水温:20~25℃ (但し、運転中結露無き事) 流量:約0.66m3/hr (11L/min)

供給圧:0.5~0.7MPa 設定圧:0.5MPa

供給圧:0.2MPa以上 設定圧:0.05~0.1MPa

6.7×10-4Pa以下 (2槽排気)

6.7×10-3Pa迄20分 (2槽排気)

300℃ (試料用トレーの中央部の表面温度)

250℃ (試料用トレーの中央部の表面温度)

±15℃以内 (250℃にて、試料用トレーの中央部の表面温度)

常温より250℃に達する迄約60分

60枚 (ワークトレー170mm×134mmにて)

ターボ分子ポンプ、ロータリーポンプ

ペニング真空計×2、ピラニ真空計×2

フィルターから探す

真空炉をフィルターから探すことができます

使用用途

#焼結 #ろう付け #焼鈍 #焼戻し #焼入れ #浸炭 #応力除去 #乾燥 #脱ガス #脱泡

最高温度 ℃

600 - 1,000 1,000 - 1,200 1,200 - 1,400 1,400 - 1,600 1,600 - 2,000 2,000 - 2,400

常用温度 ℃

500 - 600 600 - 800 800 - 1,000 1,000 - 1,200 1,200 - 1,400 1,400 - 1,600 1,600 - 2,000 2,000 - 2,200

到達真空度 Pa

0 - 0.1 0.1 - 10 10 - 100 100 - 150

加熱方式

輻射加熱 直接通電 抵抗加熱

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この商品の取り扱い会社情報

会社概要

株式会社昭和真空は、1958年に設立された、真空関連装置メーカーです。 2000年にはJASDAQ上場(現在は東証スタンダード市場)を果たします。 真空技術を中心とした、装置製造を軸としており、全て受注生産であることが...

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  • 本社所在地: 神奈川県

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