測定機器非接触三次元測定機 MA Series
三鷹光器株式会社

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この製品について

■マイクロレンズアレイ (MLA) 形状光学特性評価装置NHシリーズにおける基本的な形状測定機能がすべて搭載されており、レンズや金型の断面形状を測定し、曲率や中心座標を専用ソフトウェアで一括測定できます

■特長：高精度画像処理によるレンズの光学特性評価が可能評価項目 : 有効焦点距離/バックフォーカス/透過率/焦点位置/焦点深度/MTF

■特長：多点に及ぶマイクロレンズアレイ (MLA) も一括同時測定測定光学系により平行光の集光像 (ピンホールスリットの像) を顕微鏡レンズで拡大し、CCDカメラで画像を取り込みます。その画像に対して画像処理を行うことによりレンズの光学特性を評価します。

■特長：マトリックス作成ソフト専用のマトリックス測定ソフトによって配列パターンを記憶し、スムーズに自動測定ができます。微細化、大面積化が進むMLAの研究開発、品質管理に最適です。

■特長：ノマルスキー微分干渉観察NHの顕微鏡部にはノマルスキー微分干渉光学系を搭載することができます。この光学系は通常の明視野光学系では観察できない数十Åの表面粗さやキズを視覚的に捉え、レーザプローブを用いてその場で定量的な粗さ・段差測定を行うことができます。

■測定機能：レンズ形状測定 レーザプローブによる測定・各レンズ表面の曲率半径、中心座標値
・真円度
・頂点の高さ、XY座標
・断面・三次元形状測定、表面粗さ測定

■測定機能：光学特性評価 画像処理による測定・有効焦点距離
・バックフォーカス、MLAの実効焦点距離
・各レンズの集光位置、位置ズレ
・各レンズの集光スポットサイズ
・透過率
・焦点面での結像評価 (コマ収差、歪曲収差など) 
・焦点深度 (オプション) 
・MTF測定 (オプション) 

■測定機器宇宙開発機器の技術を産業界に応用し各業界の原器となる精密機器を製作してまいりました。なかでもレーザオートフォーカスを用いた非接触三次元測定装置は国内の半導体産業や超精密加工分野で広く普及し、日本の測定技術としてISO-25178 (三次元形状・表面の粗さの国際規格) に‘ポイントオートフォーカス法’と命名され登録されました。今後世界に向けてこの“新技術”を提供してまいります。