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レーザー干渉計測器 1001 Laser Head-1001 Laser Head
レーザー干渉計測器 1001 Laser Head-エヌピイエス株式会社

レーザー干渉計測器 1001 Laser Head
エヌピイエス株式会社

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この製品について

EXCELPRECISION1001LaserHeadシリーズは2周波ヘリウムネオンレーザーシステムで、特に光学干渉計と関連する検出・光学ハードウェア用に設計されています。1001レーザーヘッドの主な用途は、ウェーハ/FPDステッパー、電子ビーム装置、I.C.検査製品、バックエンドステッパー、精密測定機、超精密工作機械向けです。 レーザーの周波数安定性は、ゼーマン効果の原理を利用することで達成されレーザー管に縦方向の磁場をかけると、ネオンの原子準位が2つのエネルギー準位に分裂する。これら2つの準位の周波数は、基本的に中心波長に対して等間隔であり、印加された磁場の強さに比例してシフトする。 したがって、レーザー管は、磁場の強さに比例した周波数差を持つ2つの周波数で発振している。これらの2つの周波数は、磁場が印加される前に生成された元の周波数に対して対称的に分離されている。測定中、極めて高い精度と再現性を達成することができます。 1001LaserHeadの高い分割周波数により、測定速度は1.0m/secに達します (分解能に依存) 。すべてのエクセル光学製品と互換性があり、最大6軸の測定に対応します (干渉計6個、受光器6個)

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    レーザー干渉計測器 1001 Laser Head

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エヌピイエス株式会社

会社概要

エヌピイエス株式会社は、半導体や電子工業分野で必要な検査測定機器や製造装置等の輸出入と、製造販売を行う企業です。 「新精密技術を追求する」ことを企業コンセプトとしており、新技術によって生まれた精密さにこだわることを特徴...

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