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コントローラ付き XY (Z) 位置決めシステム X-417 統合多軸システム取扱企業
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商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | 移動範囲 (XY) | 1次元位置決め精度 (X/Y) | XY直交性 | 最大速度 (X/Y) | 統合センサー | センサー信号 | 設計解像度 | 最小増分動作 | 最大ペイロード | 質量 (XY系) | 質量 (XYZ システム、御影石ベースを含む) | 花崗岩のベース 平面度 | 花崗岩のベース 質量 | |
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
X-417.x22 |
要見積もり |
204×204mm |
±1.5/±1.5μm |
30μrad |
1.5/2.0 |
絶対測定リニアエンコーダ |
エンダット2.2 |
0.001μm |
10nm |
15kg |
22kg |
481kg |
5μm |
430kg |
||
X-417.x32 |
要見積もり |
305×204mm |
±1.5/±1.5μm |
30μrad |
1.5/2.0 |
絶対測定リニアエンコーダ |
エンダット2.2 |
0.001μm |
10nm |
15kg |
24kg |
483kg |
5μm |
430kg |
||
X-417.x33 |
要見積もり |
305×305mm |
±1.5/±1.5μm |
25μrad |
1.5/2.0 |
絶対測定リニアエンコーダ |
エンダット2.2 |
0.001μm |
10nm |
15kg |
26kg |
484kg |
5μm |
430kg |
||
X-417.x42 |
要見積もり |
407×204 |
±1.5/±1.5μm |
25μrad |
1.5/2.0 |
絶対測定リニアエンコーダ |
エンダット2.2 |
0.001μm |
10nm |
15kg |
26kg |
484kg |
5μm |
430kg |
||
X-417.x43 |
要見積もり |
407×305mm |
±1.5/±1.5μm |
20μrad |
1.5/2.0 |
絶対測定リニアエンコーダ |
エンダット2.2 |
0.001μm |
10nm |
15kg |
28kg |
486kg |
5μm |
430kg |
||
X-417.x44 |
要見積もり |
407×407mm |
±1.5/±1.5μm |
20μrad |
1.5/2.0 |
絶対測定リニアエンコーダ |
エンダット2.2 |
0.001μm |
10nm |
15kg |
30kg |
488kg |
5μm |
430kg |