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高性能・クリーンルーム対応・薄型 A-523 PIglide エアベアリング付き高精度 Zチップ/チルトステージ取扱企業
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| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | アクティブ軸 | Z方向の移動範囲 | θXでの回転範囲 | 回転範囲 (θY) | Z方向の加速、無負荷 | Z方向の最大速度、無負荷時 | ヨー (Z方向の動きを伴うθX方向の回転クロストーク) | ピッチ (Z方向の動きによるθY方向の回転クロストーク) | Z方向の最小増分動作 | θXの最小増分運動 | θYの最小増分運動 | Z方向の位置決め精度、校正済み | θXでの位置決め精度、未校正 | 位置決め精度 (θY、未校正) | Z方向の双方向繰返し精度 | θXの双方向再現性 | θYの双方向繰返し精度 | 統合センサー | センサー信号 | センサー解像度 | ドライブタイプ | 公称電圧 | ピーク電圧 | 公称電流、RMS | ピーク電流、RMS | 力定数 | 抵抗相間 | インダクタンス相間 | 逆起電力位相-位相 | ポールピッチNN |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|
A-523.25005B3 |
要見積もり |
Z θX θY |
5mm |
2° |
1.6° |
10m/s² |
200mm/秒 |
±25μrad |
±25μrad |
0.01μm |
0.06μrad |
0.06μrad |
±0.5μm |
±15μrad |
±15μrad |
0.25μm |
8μrad |
8μrad |
アブソリュートリニアエンコーダ |
BiSS-C |
1nm |
鉄筋レス三相リニアモーター |
24V |
60V |
1.4A |
2.8A |
5.9 該当なし |
5.2Ω |
1mH |
4.2V・s/m |
19.66mm |
A-123 エアベアリング付きリニアモータステージ
ピーアイ・ジャパン株式会社
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位置決めステージ20種類の商品があります
