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シリーズ
高性能・クリーンルーム対応・薄型 A-523 PIglide エアベアリング付き高精度 Zチップ/チルトステージ取扱企業
ピーアイ・ジャパン株式会社カテゴリ
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傾斜ステージの製品140点中、注目ランキング上位6点
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商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | アクティブ軸 | Z方向の移動範囲 | θXでの回転範囲 | 回転範囲 (θY) | Z方向の加速、無負荷 | Z方向の最大速度、無負荷時 | ヨー (Z方向の動きを伴うθX方向の回転クロストーク) | ピッチ (Z方向の動きによるθY方向の回転クロストーク) | Z方向の最小増分動作 | θXの最小増分運動 | θYの最小増分運動 | Z方向の位置決め精度、校正済み | θXでの位置決め精度、未校正 | 位置決め精度 (θY、未校正) | Z方向の双方向繰返し精度 | θXの双方向再現性 | θYの双方向繰返し精度 | 統合センサー | センサー信号 | センサー解像度 | ドライブタイプ | 公称電圧 | ピーク電圧 | 公称電流、RMS | ピーク電流、RMS | 力定数 | 抵抗相間 | インダクタンス相間 | 逆起電力位相-位相 | ポールピッチNN |
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
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A-523.25005B3 |
要見積もり |
Z θX θY |
5mm |
2° |
1.6° |
10m/s² |
200mm/秒 |
±25μrad |
±25μrad |
0.01μm |
0.06μrad |
0.06μrad |
±0.5μm |
±15μrad |
±15μrad |
0.25μm |
8μrad |
8μrad |
アブソリュートリニアエンコーダ |
BiSS-C |
1nm |
鉄筋レス三相リニアモーター |
24V |
60V |
1.4A |
2.8A |
5.9 該当なし |
5.2Ω |
1mH |
4.2V・s/m |
19.66mm |
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使用用途
#精密測定 #光学調整 #半導体検査 #顕微鏡観察 #3D計測 #ロボット制御駆動方式
手動型 モータ駆動型 電動サーボ型 空圧駆動型傾斜方式
単軸型 二軸型 多軸型 並進回転複合型制御精度
マイクロメータ型 デジタル制御型 高精密型Zでの双方向再現性 nm
0 - 1 1 - 5 5 - 10 10 - 250Z単位のシステム解像度 nm
0.5 - 0.8 0.8 - 1Z単位の分解能 nm
0.2 - 0.4 0.4 - 0.6Z単位の剛性 N/μm
1 - 2 2 - 3 3 - 4Z単位の移動範囲 µm
50 - 100 100 - 200回転範囲 mrad
0 - 50 50 - 150 150 - 250 250 - 350傾斜角度 °
-100 - -50 -50 - 0 0 - 50 50 - 100