高性能・クリーンルーム対応・薄型 A-523 PIglide エアベアリング付き高精度 Zチップ/チルトステージ-A-523.25005B3

高性能・クリーンルーム対応・薄型 A-523 PIglide エアベアリング付き高精度 Zチップ/チルトステージ
ピーアイ・ジャパン株式会社

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この製品について

■特徴・Z方向の移動範囲は±2.5mm
・回転範囲 θX、θY～±1°
・耐荷重8kgまで
・プラットフォーム直径250mm
・全高60mm

■概要A-523はダイレクトドライブのエアベアリングZチップ/チルトステージです。平行運動学的な多軸システムとして設計されたプラットフォームは、Zおよびチップ/チルト動作に使用できます。このステージは、ミニチュア形式で超高精度を提供します。

非接触コンポーネントを組み合わせることで、最高のパフォーマンス、品質、寿命を実現する摩擦のないモーションプラットフォームが実現します。

A-523をA-81xまたはA-82xシリーズのコントローラーと一緒に注文すると、PIはサーボ調整最適化を適用し、負荷を加えた状態でZステージの構成と配線を実行します。すぐに使用できる完全な測位システムを受け取ります。

■付属品とオプション・エアフィルターセット
・真空クランプ機構内蔵

■応用分野・Zチップ/チルトステージは、ウェーハ検査、ファイバーの位置決め、光学系の位置決め、フラットスクリーン検査、マスクレスリソグラフィー、ウルトラLED製造などの高精度アプリケーションに最適です。
・非接触設計はクリーンルーム用途に最適です。

型番
この商品には1種類の型番があります

シリーズ
高性能・クリーンルーム対応・薄型 A-523 PIglide エアベアリング付き高精度 Zチップ/チルトステージ

取扱企業
ピーアイ・ジャパン株式会社

カテゴリ

ステージ

傾斜ステージ

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高性能・クリーンルーム対応・薄型 A-523 PIglide エアベアリング付き高精度 Zチップ/チルトステージ品番1件

商品画像	品番	価格 (税抜)	アクティブ軸	Z方向の移動範囲	θXでの回転範囲	回転範囲 (θY)	Z方向の加速、無負荷	Z方向の最大速度、無負荷時	ヨー (Z方向の動きを伴うθX方向の回転クロストーク)	ピッチ (Z方向の動きによるθY方向の回転クロストーク)	Z方向の最小増分動作	θXの最小増分運動	θYの最小増分運動	Z方向の位置決め精度、校正済み	θXでの位置決め精度、未校正	位置決め精度 (θY、未校正)	Z方向の双方向繰返し精度	θXの双方向再現性	θYの双方向繰返し精度	統合センサー	センサー信号	センサー解像度	ドライブタイプ	公称電圧	ピーク電圧	公称電流、RMS	ピーク電流、RMS	力定数	抵抗相間	インダクタンス相間	逆起電力位相-位相	ポールピッチNN
	A-523.25005B3	要見積もり	Z θX θY	5mm	2°	1.6°	10m/s²	200mm/秒	±25μrad	±25μrad	0.01μm	0.06μrad	0.06μrad	±0.5μm	±15μrad	±15μrad	0.25μm	8μrad	8μrad	アブソリュートリニアエンコーダ	BiSS-C	1nm	鉄筋レス三相リニアモーター	24V	60V	1.4A	2.8A	5.9 該当なし	5.2Ω	1mH	4.2V・s/m	19.66mm