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E-509 ピエゾサーボモジュール_E-500用-E-509.C1A
E-509 ピエゾサーボモジュール_E-500用-ピーアイ・ジャパン株式会社

E-509 ピエゾサーボモジュール_E-500用
ピーアイ・ジャパン株式会社

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この製品について

■センサー評価電子機器を備えた位置制御モジュール

・E-509 は、統合位置センサーを備えたナノ位置決めシステム用のセンサー評価電子機器を備えた位置制御モジュールです ・電圧制御されたピエゾ動作中に発生するドリフトやヒステリシスを自動的に除去し、負荷の変化直後にピエゾ電圧を調整すると、ピエゾアクチュエータの位置の変化を補償します

■ナノメートル精度のピエゾ位置決め

・E-509 サーボ コントローラーモジュールの比例積分位置制御は、ピエゾ動作用に最適化されています ・比例項と積分項、および制御帯域幅は個別に調整できます ・統合されたノッチフィルター (軸ごとに設定可能) により安定性が向上し、ピエゾシステムの機械的共振周波数に近いより広い帯域幅での動作が可能になります。したがって、ピエゾ機構とセンサーの種類に応じて、ナノメートル範囲の位置精度と再現性が可能になります ・PISecaシリーズの高分解能静電容量型単板センサには、信号評価用のE-509.E03モデルとサーボコントローラモジュールとしてのE-509.E3モデルが用意されています

■特長

・SGS および静電容量センサーを使用したピエゾ位置決めシステムの位置制御 ・直線性誤差の改善 ・ドリフトとヒステリシスを排除 ・より高い帯域幅を実現するノッチフィルター ・ピエゾの剛性を高めます ・統合された線形化機能 (ILS) による優れた直線性

  • シリーズ

    E-509 ピエゾサーボモジュール_E-500用

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E-509 ピエゾサーボモジュール_E-500用 品番5件

フィルター
商品画像 品番 価格 (税抜) 関数 コントローラの種類 センサーモニター出力 サポートされている機能 表示とインジケーター 使用温度範囲 寸法 質量 動作電圧 最大消費電力
E-509 ピエゾサーボモジュール_E-500用-品番-E-509.C1A

E-509.C1A

要見積もり

ピエゾ力学のセンサー評価および位置サーボ制御エレクトロニクス

1 / 2 / 3

PI (アナログ) 、ノッチフィルター

容量性

1 / 2 / 3

0.3 ~ 3 kHz (ジャンパ選択可能) :ご要望に応じて 10 kHz まで

0.115ppm/√Hz

<0.3 mV/℃

<0.05%

LEMO EPL.00.250.NTD

0~10V

LEMO 6ピン FGG.0B.306.CLAD56

ILS

オーバーフローLED

5~50℃

7T/3H

0.35kg

E-500系

4~8W

E-509 ピエゾサーボモジュール_E-500用-品番-E-509.C2A

E-509.C2A

要見積もり

ピエゾ力学のセンサー評価および位置サーボ制御エレクトロニクス

1 / 2 / 3

PI (アナログ) 、ノッチフィルター

容量性

1 / 2 / 3

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0.115ppm/√Hz

<0.3 mV/℃

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LEMO EPL.00.250.NTD

0~10V

LEMO 6ピン FGG.0B.306.CLAD56

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5~50℃

7T/3H

0.35kg

E-500系

4~8W

E-509 ピエゾサーボモジュール_E-500用-品番-E-509.C3A

E-509.C3A

要見積もり

ピエゾ力学のセンサー評価および位置サーボ制御エレクトロニクス

1 / 2 / 3

PI (アナログ) 、ノッチフィルター

容量性

1 / 2 / 3

0.3 ~ 3 kHz (ジャンパ選択可能) :ご要望に応じて 10 kHz まで

0.115ppm/√Hz

<0.3 mV/℃

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LEMO EPL.00.250.NTD

0~10V

LEMO 6ピン FGG.0B.306.CLAD56

ILS

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5~50℃

7T/3H

0.35kg

E-500系

4~8W

E-509 ピエゾサーボモジュール_E-500用-品番-E-509.S1

E-509.S1

要見積もり

ピエゾ力学のセンサー評価および位置サーボ制御エレクトロニクス

1 / 3

PI (アナログ) 、ノッチフィルター

SGS

1 / 3

0.3; 1; 3kHz

-

<3 mV/℃

<0.2%

LEMO ERA.0S.304.CLL

0~10V

BNC (1ch.) / 3ピン LEMO (3ch.)

ILS

オーバーフローLED

5~50℃

7T/3H

0.35kg

E-500系

4~8W

E-509 ピエゾサーボモジュール_E-500用-品番-E-509.S3

E-509.S3

要見積もり

ピエゾ力学のセンサー評価および位置サーボ制御エレクトロニクス

1 / 3

PI (アナログ) 、ノッチフィルター

SGS

1 / 3

0.3; 1; 3kHz

-

<3 mV/℃

<0.2%

LEMO ERA.0S.304.CLL

0~10V

BNC (1ch.) / 3ピン LEMO (3ch.)

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0.35kg

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4~8W

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この商品の取り扱い会社情報

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返答時間

26.5時間

会社概要

ピーアイ・ジャパン株式会社は、Physik Instrumente GmbH社(ドイツ)の日本法人として、ピエゾやモーターを用いた超精密位置決め製品の販売・提案・修理・サービスを行っております。
1991年にドイ...

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  • 本社所在地: 神奈川県
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