E-509 ピエゾサーボモジュール＿E-500用
ピーアイ・ジャパン株式会社

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この製品について

■センサー評価電子機器を備えた位置制御モジュール・E-509 は、統合位置センサーを備えたナノ位置決めシステム用のセンサー評価電子機器を備えた位置制御モジュールです
・電圧制御されたピエゾ動作中に発生するドリフトやヒステリシスを自動的に除去し、負荷の変化直後にピエゾ電圧を調整すると、ピエゾアクチュエータの位置の変化を補償します

■ナノメートル精度のピエゾ位置決め・E-509 サーボ コントローラーモジュールの比例積分位置制御は、ピエゾ動作用に最適化されています
・比例項と積分項、および制御帯域幅は個別に調整できます
・統合されたノッチフィルター (軸ごとに設定可能) により安定性が向上し、ピエゾシステムの機械的共振周波数に近いより広い帯域幅での動作が可能になります。したがって、ピエゾ機構とセンサーの種類に応じて、ナノメートル範囲の位置精度と再現性が可能になります
・PISecaシリーズの高分解能静電容量型単板センサには、信号評価用のE-509.E03モデルとサーボコントローラモジュールとしてのE-509.E3モデルが用意されています

■特長・SGS および静電容量センサーを使用したピエゾ位置決めシステムの位置制御
・直線性誤差の改善
・ドリフトとヒステリシスを排除
・より高い帯域幅を実現するノッチフィルター
・ピエゾの剛性を高めます
・統合された線形化機能 (ILS) による優れた直線性

型番
この商品には5種類の型番があります

シリーズ
E-509 ピエゾサーボモジュール＿E-500用

取扱企業
ピーアイ・ジャパン株式会社

カテゴリ

コントローラ・制御装置

モーションコントローラー

コントローラ・制御装置

サーボコントローラ

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E-509 ピエゾサーボモジュール＿E-500用品番5件

フィルター

品番	価格 (税抜)	関数	軸 1 / 2 / 3 1 / 3	コントローラの種類	センサーの種類容量性 SGS	センサーチャンネル 1 / 2 / 3 1 / 3	センサー帯域幅 0.3 ~ 3 kHz (ジャンパ選択可能) ：ご要望に応じて 10 kHz まで 0.3; 1; 3kHz	雑音指数 0.115ppm/√Hz	熱ドリフト <0.3 mV/℃ <3 mV/℃	直線性誤差 <0.05% <0.2%	センサー接続 LEMO EPL.00.250.NTD LEMO ERA.0S.304.CLL	センサーモニター出力	センサーモニターソケット LEMO 6ピン FGG.0B.306.CLAD56 BNC (1ch.) / 3ピン LEMO (3ch.)	サポートされている機能	表示とインジケーター	使用温度範囲	寸法	質量	動作電圧	最大消費電力
E-509.C1A	要見積もり	ピエゾ力学のセンサー評価および位置サーボ制御エレクトロニクス	1 / 2 / 3	PI (アナログ) 、ノッチフィルター	容量性	1 / 2 / 3	0.3 ~ 3 kHz (ジャンパ選択可能) ：ご要望に応じて 10 kHz まで	0.115ppm/√Hz	<0.3 mV/℃	<0.05%	LEMO EPL.00.250.NTD	0~10V	LEMO 6ピン FGG.0B.306.CLAD56	ILS	オーバーフローLED	5~50℃	7T/3H	0.35kg	E-500系	4~8W
E-509.C2A	要見積もり	ピエゾ力学のセンサー評価および位置サーボ制御エレクトロニクス	1 / 2 / 3	PI (アナログ) 、ノッチフィルター	容量性	1 / 2 / 3	0.3 ~ 3 kHz (ジャンパ選択可能) ：ご要望に応じて 10 kHz まで	0.115ppm/√Hz	<0.3 mV/℃	<0.05%	LEMO EPL.00.250.NTD	0~10V	LEMO 6ピン FGG.0B.306.CLAD56	ILS	オーバーフローLED	5~50℃	7T/3H	0.35kg	E-500系	4~8W
E-509.C3A	要見積もり	ピエゾ力学のセンサー評価および位置サーボ制御エレクトロニクス	1 / 2 / 3	PI (アナログ) 、ノッチフィルター	容量性	1 / 2 / 3	0.3 ~ 3 kHz (ジャンパ選択可能) ：ご要望に応じて 10 kHz まで	0.115ppm/√Hz	<0.3 mV/℃	<0.05%	LEMO EPL.00.250.NTD	0~10V	LEMO 6ピン FGG.0B.306.CLAD56	ILS	オーバーフローLED	5~50℃	7T/3H	0.35kg	E-500系	4~8W
E-509.S1	要見積もり	ピエゾ力学のセンサー評価および位置サーボ制御エレクトロニクス	1 / 3	PI (アナログ) 、ノッチフィルター	SGS	1 / 3	0.3; 1; 3kHz	-	<3 mV/℃	<0.2%	LEMO ERA.0S.304.CLL	0~10V	BNC (1ch.) / 3ピン LEMO (3ch.)	ILS	オーバーフローLED	5~50℃	7T/3H	0.35kg	E-500系	4~8W
E-509.S3	要見積もり	ピエゾ力学のセンサー評価および位置サーボ制御エレクトロニクス	1 / 3	PI (アナログ) 、ノッチフィルター	SGS	1 / 3	0.3; 1; 3kHz	-	<3 mV/℃	<0.2%	LEMO ERA.0S.304.CLL	0~10V	BNC (1ch.) / 3ピン LEMO (3ch.)	ILS	オーバーフローLED	5~50℃	7T/3H	0.35kg	E-500系	4~8W