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A-322 XY平面スキャナー、エアベアリング-A-322 Base
A-322 XY平面スキャナー、エアベアリング-ピーアイ・ジャパン株式会社

A-322 XY平面スキャナー、エアベアリング
ピーアイ・ジャパン株式会社

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この製品について

分解能1 nmのXYポジショニングシステム。

■特徴

・スキャンアプリケーションや高精度位置決めに最適 ・クリーンルーム対応 ・移動範囲 500 mm × 1000 mm ・245 Nまでの負荷容量 ・分解能 1 nm、速度 2 m/s ・3つのパフォーマンスクラス:ベース、プラス、ウルトラ 概要

■PIMag磁気ダイレクトドライブ®

三相磁気ダイレクトドライブは、ドライブトレインに機械部品を使用せず、摩擦なしで直接駆動力をモーションプラットフォームに伝達します。ドライブは高速と加速に達します。アイアンレスモーターは、永久磁石との望ましくない相互作用がないため、精度に対する要求が最も高い位置決め作業に特に適しています。 これにより、最低速度でもスムーズな走行が可能になると同時に、高速でも振動がありません。制御動作の非線形性が回避され、任意の位置を簡単に制御できます。駆動力は自由に設定できます。大手メーカーのデジタルコントローラでの操作は、ダイナミクスとエラー補償を改善するための高度な制御アルゴリズムを提供します。

■アクセサリとオプション

エンコーダー/PIglideフィルターと空気準備キット/多軸モーションコントローラとダイレクトドライブ/マシンベース/花崗岩製のベースプレートと振動を低減するシステム

■応用分野

PIglideポジショニングシステムは、検査システム、レーザーマーキング、顕微鏡、スキャンなどの高精度アプリケーションに最適です。

  • シリーズ

    A-322 XY平面スキャナー、エアベアリング

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A-322 XY平面スキャナー、エアベアリング 品番3件

フィルター
商品画像 品番 価格 (税抜) 移動範囲、ブリッジ軸 (mm) ガイド 統合センサー センサー解像度 (nm) 真直度 (µm) 平ら (µm) ピッチ (µrad) 最大速度、無負荷 (m/s) 位置安定性 (nm) 公称電圧、DC (V) ピーク電圧、DC (V)
A-322 XY平面スキャナー、エアベアリング-品番-A-322 Base

A-322 Base

要見積もり

標準/標準

350; 500

350; 500

250 × 268

エアベアリング、真空プリロード付き

アブソリュートリニアエンコーダ、BiSS-C、スチール測定ゲージ

1

15

±0.15

±0.35

1

2

10

5

5

1

10

±30

14

ブリッジ軸の移動範囲に応じて:
350 mm: 40 kg
500 mm: 44 kg

1×ブリッジ、2×ガントリー軸

70/70

300/300

87/87

300/300

19.9/19.9

4.4/4.4

15/15

16/16

3.6/3.6

1.2/1.2

-
A-322 XY平面スキャナー、エアベアリング-品番-A-322 Plus

A-322 Plus

要見積もり

標準/高

350; 500

350; 500; 750

250 × 268

エアベアリング、真空プリロード付き

アブソリュートリニアエンコーダ、BiSS-C、スチール測定ゲージ

1

20

±0.15

±0.35

1

2

10

5

5

1

20

±30

14

ブリッジ軸の移動範囲に応じて:
350 mm: 53 kg
500 mm: 56 kg

1×ブリッジ、2×ガントリー軸

70/70

300/300

140/140

480/480

27.5/27.5

5.1/5.1

17.5/17.5

22.5/22.5

2.6/2.6

2.0/2.0

水、20℃、2~3リットル/分

A-322 XY平面スキャナー、エアベアリング-品番-A-322 Ultra

A-322 Ultra

要見積もり

高/高

350; 500

350; 500; 750; 1000

250 × 318

エアベアリング、真空プリロード付き

アブソリュートリニアエンコーダ、BiSS-C、スチール測定ゲージ

1

30

±0.05

±0.2

1

2

10

2

2

1

20/15 (ブリッジ/ガントリー軸)

±30

20

ブリッジ軸の移動範囲に応じて:
350 mm: 70 kg
500 mm: 75 kg

2×ブリッジ、2×ガントリー軸

70/70

300/300

87/140

300/480

19.9/27.5

4.4/5.1

15/17.5

16/22.5

3.6/2.6

1.2/2.0

水、20℃、2~3リットル/分

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この商品の取り扱い会社情報

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返答時間

26.5時間

会社概要

ピーアイ・ジャパン株式会社は、Physik Instrumente GmbH社(ドイツ)の日本法人として、ピエゾやモーターを用いた超精密位置決め製品の販売・提案・修理・サービスを行っております。
1991年にドイ...

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  • 本社所在地: 神奈川県
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