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N-111 NEXLINE ピエゾウォークリニアアクチュエータ 50N-N-111.201
N-111 NEXLINE ピエゾウォークリニアアクチュエータ 50N-ピーアイ・ジャパン株式会社

N-111 NEXLINE ピエゾウォークリニアアクチュエータ 50N
ピーアイ・ジャパン株式会社

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この製品について

長い移動距離でのナノポジショニング、ピエゾウォークの原理®

■特徴

・移動距離 10 mm ・分解能5 nmの直接測定リニアエンコーダを内蔵 ・50 Nまでの力の生成 ・70 Nまでの保持力 概要

■ピエゾウォークウォーキングドライブによるナノメートルの精度と高い送り力®

いくつかのピエゾアクチュエータは、PiezoWalk®ウォーキングドライブで歩行動作を実行し、ランナーの前方フィードにつながります。アクチュエータの制御により、1ナノメートルをはるかに下回る分解能で最小のステップとフォワードフィードモーションが可能になります。

■高度な真空アプリケーションに適しています

PIのピエゾモータは、真空で使用するように設計でき、強い磁場での動作に適しています。この目的のために、特別なバージョンのドライブが用意されています。ピエゾウォーキングドライブは、クリーンルームや紫外線の強い環境でも使用できます。

■インクリメンタルリニアエンコーダによる高精度位置測定

非接触光学エンコーダは、プラットフォームの位置を最高の精度で直接測定します。非線形性、機械的遊び、弾性変形は測定に影響を与えません。

■応用分野

産業用精密位置決め/半導体技術/半導体テスト/ウェーハ検査/リトグラフ/ナノインプリント/ナノ計測/強磁場中および真空中での運動

  • シリーズ

    N-111 NEXLINE ピエゾウォークリニアアクチュエータ 50N

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N-111 NEXLINE ピエゾウォークリニアアクチュエータ 50N 品番2件

フィルター
商品画像 品番 価格 (税抜) 駆動軸 移動範囲 X (アナログモード) の移動範囲 速度 (10%デューティサイクル、フルステップモード) 速度 (100%デューティサイクル、フルステップモード) 速度 (100%デューティサイクルナノステッピングモード) X単位の分解能、オープンループ 動作電圧 ドライブの種類 駆動力 保持力、パッシブ 材料 使用温度範囲 コネクタ ケーブル長 推奨コントローラ
N-111 NEXLINE ピエゾウォークリニアアクチュエータ 50N-品番-N-111.201

N-111.201

要見積もり

X

10 mm

± 2 μm

1 mm/s

0.6 mm/s

0.4 mm/s

0.025 nm

-250 ~ +250

ネクライン®ピエゾウォーキングドライブ

50 N

70 N

245 g

アルミニウム、ステンレス鋼、チタン

0~55 ℃

D-sub 25-pin (m)

1.5 m

E-712.1AM

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N-111 NEXLINE ピエゾウォークリニアアクチュエータ 50N-品番-N-111.2A1

N-111.2A1

要見積もり

X

10 mm

± 2 μm

1 mm/s

0.6 mm/s

0.4 mm/s

0.025 nm

-250 ~ +250

ネクライン®ピエゾウォーキングドライブ

50 N

70 N

325 g

アルミニウム、ステンレス鋼、チタン

0~55 ℃

D-sub 25-pin (m)

1.5 m

E-712.1AM

インクリメンタルロータリエンコーダ

5 nm

光学、方向検出(基準エッジトラック)、5 V、TTL

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この商品の取り扱い会社情報

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会社概要

ピーアイ・ジャパン株式会社は、Physik Instrumente GmbH社(ドイツ)の日本法人として、ピエゾやモーターを用いた超精密位置決め製品の販売・提案・修理・サービスを行っております。
1991年にドイ...

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  • 本社所在地: 神奈川県
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