N-111 NEXLINE ピエゾウォークリニアアクチュエータ 50N-N-111.201
N-111 NEXLINE ピエゾウォークリニアアクチュエータ 50N-ピーアイ・ジャパン株式会社

N-111 NEXLINE ピエゾウォークリニアアクチュエータ 50N ピーアイ・ジャパン株式会社

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この製品について

長い移動距離でのナノポジショニング、ピエゾウォークの原理®

■特徴

・移動距離 10 mm ・分解能5 nmの直接測定リニアエンコーダを内蔵 ・50 Nまでの力の生成 ・70 Nまでの保持力 概要

■ピエゾウォークウォーキングドライブによるナノメートルの精度と高い送り力®

いくつかのピエゾアクチュエータは、PiezoWalk®ウォーキングドライブで歩行動作を実行し、ランナーの前方フィードにつながります。アクチュエータの制御により、1ナノメートルをはるかに下回る分解能で最小のステップとフォワードフィードモーションが可能になります。

■高度な真空アプリケーションに適しています

PIのピエゾモータは、真空で使用するように設計でき、強い磁場での動作に適しています。この目的のために、特別なバージョンのドライブが用意されています。ピエゾウォーキングドライブは、クリーンルームや紫外線の強い環境でも使用できます。

■インクリメンタルリニアエンコーダによる高精度位置測定

非接触光学エンコーダは、プラットフォームの位置を最高の精度で直接測定します。非線形性、機械的遊び、弾性変形は測定に影響を与えません。

■応用分野

産業用精密位置決め/半導体技術/半導体テスト/ウェーハ検査/リトグラフ/ナノインプリント/ナノ計測/強磁場中および真空中での運動

  • シリーズ

    N-111 NEXLINE ピエゾウォークリニアアクチュエータ 50N



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N-111 NEXLINE ピエゾウォークリニアアクチュエータ 50N 品番2件

各品番毎の詳細は品番をクリックしてください

まとめて問合せ・見積 商品画像 品番 価格 (税抜) 駆動軸 移動範囲 X (アナログモード) の移動範囲 速度 (10%デューティサイクル、フルステップモード) 速度 (100%デューティサイクル、フルステップモード) 速度 (100%デューティサイクルナノステッピングモード) X単位の分解能、オープンループ 動作電圧 ドライブの種類 駆動力 保持力、パッシブ 全体の質量 材料 使用温度範囲 コネクタ ケーブル長 推奨コントローラ 統合センサー システム解像度 基準スイッチ
N-111 NEXLINE ピエゾウォークリニアアクチュエータ 50N-品番-N-111.201

N-111.201

要見積もり X 10 mm ± 2 μm 1 mm/s 0.6 mm/s 0.4 mm/s 0.025 nm -250 ~ +250 ネクライン®ピエゾウォーキングドライブ 50 N 70 N 245 g アルミニウム、ステンレス鋼、チタン 0~55 ℃ D-sub 25-pin (m) 1.5 m E-712.1AM - - -
N-111 NEXLINE ピエゾウォークリニアアクチュエータ 50N-品番-N-111.2A1

N-111.2A1

要見積もり X 10 mm ± 2 μm 1 mm/s 0.6 mm/s 0.4 mm/s 0.025 nm -250 ~ +250 ネクライン®ピエゾウォーキングドライブ 50 N 70 N 325 g アルミニウム、ステンレス鋼、チタン 0~55 ℃ D-sub 25-pin (m) 1.5 m E-712.1AM インクリメンタルロータリエンコーダ 5 nm 光学、方向検出(基準エッジトラック)、5 V、TTL

のついている項目名や値は、Metoreeの自然言語処理アルゴリズムを用いて自動生成された値です。各メーカーの製品を横断して比較しやすくするための参考としてご利用ください。自動生成データは黒色の文字、元データは灰色の文字です。

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この商品の取り扱い会社情報

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会社概要

ピーアイ・ジャパン株式会社は、Physik Instrumente GmbH社(ドイツ)の日本法人として、ピエゾやモーターを用いた超精密位置決め製品の販売・提案・修理・サービスを行っております。
1991年にドイ...

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  • 本社所在地: 神奈川県
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