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アプリケーションシステム 一体型変位チルトセンサ (広角広変位タイプ) SH-3200-SH-3200
アプリケーションシステム 一体型変位チルトセンサ (広角広変位タイプ) SH-3200-シグマ光機株式会社

アプリケーションシステム 一体型変位チルトセンサ (広角広変位タイプ) SH-3200
シグマ光機株式会社

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この製品について

■概要

オートコリメータ方式の傾斜測定に加え、変位測定を同時測定する一体型変位チルトセンサとなっています。センサヘッドとプロセッサユニットを一体化させ軽量小型化を実現し、省スペースでの装置への組込ができます。本製品は、株式会社カツラ・オプト・システムズ社製です。

■詳細

・三角測量とオートコリメータの測定方式を一つに ・センサとプロセッサ一体型さらに高速測定 (1Kデータ/s) ・変位と傾斜の同時測定【特許第5330114号】 ・チルト (θX、θY) ：±90分 (円形範囲) ／変位 (Z) ：±5mm

■アプリケーション事例

・製造工程中のウェーハの反りの判定 ・プロジェクターのレンズフランジのあおり、フォーカス調整 ・カメラモジュールの、レンズアクチュエータ駆動時の傾斜検査

■ご案内

電源と通信ケーブルのみの簡単接続のシステム構成となっております。

■ご注意

製品の外観や仕様は改良のため、予告なく変更する場合があります。

  • シリーズ

    アプリケーションシステム 一体型変位チルトセンサ (広角広変位タイプ) SH-3200

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アプリケーションシステム 一体型変位チルトセンサ (広角広変位タイプ) SH-3200 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) カタログコード 測定対象 ワーキングディスタンス 測定項目 測定範囲 デジタル出力/出力更新レート 光源 波長 光源 クラス 光源 ビーム径 信号出力 出力更新レート 外形寸法 (突起部除く) 質量
アプリケーションシステム 一体型変位チルトセンサ (広角広変位タイプ) SH-3200-品番-SH-3200

SH-3200

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KOS

光学平面ミラー (反射率80%以上推奨)

50mm±0.5mm

チルト (θX, θY) 、変位 (Z)

チルト (θX, θY) ：±90分 (円形範囲)
変位 (Z) ：±5mm

RS-232C規格 (準拠) /1,000回/秒

660±10nm

クラス1

φ0.2mm以下

RS-232C規格 (準拠)

1,000回/秒

W100×D80×H35mm

0.33kg

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使用用途

#寸法測定 #位置検出測定 #振動測定 #微小変位測定 #動的測定 #構造物監視寸法管理 #レベル測定 #品質管理 #研究開発 #移動体位置測定

測定範囲 mm

0 - 10 10 - 100 100 - 500 500 - 1,200

検出距離 mm

0 - 2 2 - 10

分解能 μm

0 - 1 1 - 10 10 - 100 100 - 1,000

応答時間 ms

0 - 1 1 - 3 3 - 10

測定中心距離 mm

0 - 50 50 - 100 100 - 300

使用温度範囲 ℃

-40 - -20 -20 - 0 0 - 60 60 - 70 70 - 80 80 - 100 100 - 150

保護構造

IP40 IP50 IP64 IP65 IP67

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会社概要

［光ソリューション］その言葉は、シグマ光機には欠かせないものです。
研究開発から生産設備に至るまで、『光』をキーワードに解決する企業です。
シグマ光機は1977年の会社設立以来、レーザ用要素部品をはじめ、...

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  • 本社所在地: 埼玉県

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