蒸着チャンバーシステムの一新でより良い成膜が可能にパラキシリレンコーティング装置垂直タイプ LAVIDA-1000-LAVIDA-1000

蒸着チャンバーシステムの一新でより良い成膜が可能にパラキシリレンコーティング装置垂直タイプ LAVIDA-1000
株式会社新興精機

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この製品について

■パラキシリレンとはパラキシリレン系ポリマーの総称で、ベンゼン環がCH2を介してつながった構造をしています。真空蒸着で重合したパラキシリレンは、非常に安定した高い結晶性を持つ結晶性ポリマーで絶縁性・耐熱性・耐薬品性・生体適合性に優れ、非常に薄膜で均一な厚みのコーティングが特長です。

■パラキシリレンの特長・常温での蒸着重合が可能なので、あらゆる物にコーティングが可能です。
・原材料のパウダー量により膜厚をコントロールできます。1μ～10μ程度の膜厚で使用することが多く、目的によっては数nmの膜厚も可能です。
・コーティングしたフィルムは完全にピンホールフリーであり、複雑な形状や非常に狭い隙間にも均一の厚みでコーティングすることができます。
・湿式のコーティングとは異なり、表面張力による膨らみ等が起きないため、均一な膜厚が形成できます。
・耐腐食性・耐溶剤性・耐水性・耐熱性に優れています。
・薄膜で、なおかつ非常に丈夫なコーティング処理が可能です。
・生体適合性、組織適合性コーティングを行うことができます。

■アプリケーション・エレクトロニクス 絶縁性能・耐熱バリアとして (隙間浸透性・多層間浸透性のメリット) 
・医療 マイクロニードル・カテーテル等 (耐薬剤性・生体適合性のメリット) 
・センサー バイオセンサー等のコーティング
・その他 固体であればほとんどの物にコーティング可能。用途としては無限

型番
この商品には1種類の型番があります

シリーズ
蒸着チャンバーシステムの一新でより良い成膜が可能にパラキシリレンコーティング装置垂直タイプ LAVIDA-1000

取扱企業
株式会社新興精機

カテゴリ

加工・工作機器

コーティング装置

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蒸着チャンバーシステムの一新でより良い成膜が可能にパラキシリレンコーティング装置垂直タイプ LAVIDA-1000 品番1件

商品画像	品番	価格 (税抜)	蒸着チャンバー	真空システム	気化器	熱分解炉	セーフティシステム	寸法 (本体のみ)	電源
	LAVIDA-1000	要見積もり	チャンバー：I.D 950mm×L1,200mm ローターサイズ：直径610mm 回転速度：1~10rpm 基板サイズ：最大610mm	ロータリーポンプ 1,200ℓ／min (60Hz) 最大圧 1.0×10^-3Torr オイルミストトラップピラニー真空計 (Atm~1×10^-4Torr) ブースターポンプ	温度レンジ：0~200℃ (±2~3℃) フルオート温度調整 10ステップ設定可能 Dimer loading capacity: Max. 100g	温度レンジ：0~900℃ (±2~3℃) フルオート温度調整	緊急停止スイッチバキュームインターロック温度アラーム	3,250mm×1,500mm×1,990mm	200~220V 50／60Hz 3PH 30A