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分子フローコントローラー取扱企業
株式会社ピー･ジェイカテゴリ
| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | 上流圧力範囲 | 流量精度 (不確かさ) | 繰返し性 | 応答時間 | 必要下流圧力 | 耐圧力 | 使用温度範囲 | 外部リーク | SCE取付け姿勢 | 信号出力 | 供給電源電圧 | 接ガス部材質、シール部材質 | 表面処理 (接ガス部) | 標準継手 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|
PMFC-100-01 |
要見積もり |
≦ 103 kРа |
≦9.8 % (上流圧力 10kPaの時) |
1%以下 (不活性ガス) |
6秒以下 (不活性ガス) |
≦10^-3 Pa |
200kPa |
本体：0℃~50℃、圧力センサー：0℃~70℃ SCE: ≦ 200℃ |
≦ 3× 10^-12 Pa m3/s (He) 以下 (or less) |
自在 |
DC 0~10V FS「SCE圧力 (0~SCE圧力設定値) 」「補助容器 (0~344.7kPa) 」「SCE温度 (0~1,300℃) 」を操作画面にて選択 |
AC 100V |
接ガス部配管類：SUS316L バルブ：SUS316L (ボディ) 、シート (PCTFT/PFA/PI) |
電解硏磨処理 |
標準コンダクタンスエレメント (SCE部) ：ICF34 |
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使用用途
#半導体製造 #医薬品製造 #食品加工 #燃料電池 #分析機器 #研究開発 #表面処理 #ガス混合制御方式
閉ループ制御型 開ループ制御型 デジタル制御型 アナログ制御型測定原理
熱式 コリオリ式 差圧式 超音波式流体種類対応
気体用 液体用 高純度流体用出力信号形式
アナログ出力型 デジタル出力型制御流量範囲 %F.S
2 - 5 5 - 100流量精度 %F.S
0 - 1 1 - 2 2 - 5使用保証温度 ℃
-10 - 0 0 - 50 50 - 60供給電源電圧消費電流 mA
25 - 100 100 - 200 200 - 300 300 - 350耐圧力 MPa(G)
0 - 1 1 - 4 4 - 1,000
