抵抗率測定器 (シート抵抗測定器) Model sigma-5+-Model sigma-5+

抵抗率測定器 (シート抵抗測定器) Model sigma-5+
エヌピイエス株式会社

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この製品について

プロ技術者のための高性能ツール。4探針法を用いて太陽電池用シリコンウェハやLCD基板、金属薄膜等のシート抵抗、または、体積抵抗を簡単で高精度に測定できるマニュアルタイプの計測器です。低抵抗 ～ 高抵抗の広範囲な測定に対応しています。
 
■用途・シリコンインゴット製造→ウェハ製造工程 (膜形成等様々な処理工程) における製品検査用　
・液晶パネル (LCD基板) 製造：成膜時の製品検査用
・幅広い電気導電性部材の製造過程での製品検査用

別途弊社構成の 「4探針プローブ」を用いて測定が可能となります。

シリコンウェハ等の抵抗率を正確に測定することができ、太陽電池向けシリコン用のハンディタイプのプローブもあります。抵抗率測定に関する20年以上のノウハウと技術を活かし設計開発された高精度な抵抗率測定器です。半導体基板並びに導電性薄膜基盤等の研究開発・検査工程、または製造ラインにおいての、シート抵抗値や体積抵抗値を高確度に求め、評価することが出来ます。

■特長・細かい設定が可能なスイッチ機能のインテリジェントパネル
・デスクサイズのコンパクト設計
・低抵抗〜高抵抗対応のワイド測定レンジ
・整流性による誤差を抑える電流極性切替え測定
・測定開始毎の自動ゼロ調整機能
・最適な電流を自動設定するオートレンジ機能
・試料の厚み補正機能
・測定値平均値表示とプリンタ平均値演算機能
・半導体用の温度補正機能
・各種温度補正係数入力機能
・データプリンタ用インターフェース付
・データ接続用インターフェース付
・試料テーブルの選択が可能 <基本仕様>

型番
この商品には1種類の型番があります

シリーズ
抵抗率測定器 (シート抵抗測定器) Model sigma-5+

取扱企業
エヌピイエス株式会社

カテゴリ

メーター・計測機器

抵抗計

測定機器

低抵抗測定器

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抵抗率測定器 (シート抵抗測定器) Model sigma-5+ 品番1件

商品画像	品番	価格 (税抜)	測定方式	測定時間	表示部	厚み補正機能	温度補正	コンプライアンス電源	測定精度	消費電力	外形寸法	重量
	Model sigma-5+	要見積もり	直流4探計法	約2秒 / 1回	LED 5桁	0.1~9999.9μm	手動設定	最大50V以上	±0.2%	70W (AC100V 50/60Hz)	W260 x D300 x H140 (mm)	約5kg