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超音波流量計 USF600S Series-USF600S-GC08
超音波流量計 USF600S Series-東フロコーポレーション株式会社

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この製品について

半導体洗浄工程で使用される超純水、高純度薬品の流量計測に使用されています。本体は強酸、強アルカリにも耐性あるPFA樹脂を採用しています。

■特長

・DSP機能搭載で安定性・応答性・耐気泡性の向上 ・脱着式ケーブルで配線作業が容易 ・検出器の小型化 ・マルチ通信 (最多31台連結可能)

■型式

USF600S (形状) - (口径) - (流量単位) (最大流量) - (流体名) - (オプション) - (保守対応)

■記入例

・表示なし:USF600S-GC08-A3000-H2SO4 ・表示あり:USF600SL-GC08-A3000-H2SO4

■注意

本製品の接液部材質に対し、浸透性のある薬液のご使用における故障は補償しかねます。

  • シリーズ

    超音波流量計 USF600S Series

企業レビュー 4.0

Metoree経由で見積もり

2025年4月1日にレビュー済み

顧客対応への満足度

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超音波流量計 USF600S Series 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) 形状 検出器 (測定範囲) 検出器 (接続口径) 流量単位 最大流量 流体名 保守対応 流体 最小流量 流量精度 (出荷校正時) 計測チャンネル数 データ更新周期 最高使用圧力 破壊圧力 最高流体温度 使用環境温度 変換器 計測方式 変換器 デジタル入力 接点 変換器 アナログ出力 計測出力 変換器 アナログ出力 分解能 変換器 アナログ出力 精度 変換器 アナログ出力 最大負荷抵抗 変換器 アナログ出力 出力ポート 変換器 アナログ出力 瞬時流量範囲 変換器 アナログ出力 積算流量範囲 変換器 デジタル出力 出力ポート 変換器 デジタル出力 印加電圧 変換器 デジタル出力 シンク電流 変換器 デジタル出力 出力可能周波数 オプション
超音波流量計 USF600S Series-品番-USF600S-GC08

USF600S-GC08

要見積もり

無記入:表示なし
L:表示あり

0~3L/min

Tube 1/4″ (φ6.35×4.35)

A:mL/min
B:L/min

測定範囲の最大流量を記入

流体名を記入

AMP:変換器のみ手配
SENSOR:検出器のみ手配

純水,スラリー,薬液 (IPA,H₂O₂,H₂SO₄,H₃PO₄,HF,HCl,O₃,NH₃など)

標準0.001L/min

±1% of R.D. (測定流量範囲の10%以下:±0.1% of F.S.)
※「純水20℃ (室温25℃) 、流量安定状態で校正された瞬時流量精度」となります。

1チャンネル

10ms

0.5MPa (G)

1.96MPa (G)
常温破壊圧力に90℃の破壊圧力低下係数を掛け合わせた規格値です。ご使用の際は規格値の1/2~1/5以下で運用いただくことを推奨いたします。

90℃

0~80℃ (検出器) /0~50℃ (変換器)
※結露なきこと

超音波伝搬時間差方式

・TTLまたは無電圧接点入力
・入力ポート:2系統 (1系統につき1種類の入力を選択可)
※ゼロ点調整入力、積算リセット入力より選択

DC4-20mA

12bit (約1/4,000ステップ)

4mA±0.05mA、20mA±0.1mA

600Ω

1系統 (瞬時流量値、積算値より選択)

測定流量範囲同じ

上限設定 (20mA) は任意に設定可能
~32.000L (設定ステップ0.001L)

2系統 (1系統につき1種類の出力を設定可能、アクティブLOW)
瞬時周波数出力,積算パルス出力,比較出力,エラー出力より選択

Max.35V (VoL=1.3V)
※VoL=ローレベル出力電圧

Max.100mA

10~3,000Hz (F.S.周波数は100~3,000Hzの範囲で任意設定可能)
※機器により周波数を正常に取り込みできない場合は、周波数の最大値を下げて使用ください。

表示計:セット手配時、デジタルメータ型式を指定

フィルターから探す

流量計をフィルターから探すことができます

使用用途

#積算 #半導体プロセス #高温流体 #冷却水監視 #防爆環境 #溶接 #燃費測定 #医療用途

口径 mm

5 - 20 20 - 50 50 - 150 150 - 600 600 - 6,000

精度 %FS

0 - 1 1 - 2 2 - 3 3 - 5 5 - 6

使用圧力範囲 MPa

0 - 1 1 - 2

使用温度範囲 ℃

-60 - 0 0 - 50 50 - 100 100 - 150 150 - 200 200 - 300 300 - 500

測定流体

液体 気体

電源電圧 VDC

0 - 10 10 - 20 20 - 30 30 - 40 40 - 50

保護等級 IP

IP54 IP64 IP65 IP66 IP67 IP68 IP69K IPX4

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この商品の取り扱い会社情報

返答率

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企業レビュー

4.0

会社概要

東フロコーポレーション株式会社は、フローコントローラやマスフローコントローラといった流量計の製造販売を主な事業内容とする企業です。 流量計の製造販売のほかには、ラインフィルターや流量センサなどの流体制御機器の製造販売、...

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  • 本社所在地: 東京都

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