超音波流量計 USF500N/600N/560N Series-USF500N-G08

560N Series
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この製品について

半導体洗浄工程で使用される超純水、高純度薬品の流量計測に使用されています。本体は強酸、強アルカリにも耐性あるPFA樹脂を採用しています。

■特長・DSP機能搭載で安定性・応答性・耐気泡性の向上
・2チャンネル採用で省スペース化を実現。
・脱着式ケーブルで配線作業が容易
・高温流体対応可能 (Max.200℃、高温仕様) 
・マルチ通信 (最多31台連結可能) 

■型式USF (規格) - (CH1口径) (CH1標準／高温) - (CH1流量単位) (CH1最大流量) (CH1標準SET) - (CH2口径) (CH2標準／高温) - (CH2流量単位) (CH2最大流量) (CH2標準SET) - (CH1流体名) - (CH2流体名) - (特殊項目) 

※CH2未使用の場合は無記入

■記入例・1CH使用の場合：USF500N-G15HK-B20-H2SO4
・2CH使用の場合：USF560N-G08HK-A3000-GC10-A6000-H2SO4-H3PO4

■注意・本製品の接液部材質に対し、浸透性のある薬液のご使用における故障は補償しかねます。
・G25／GZ25及びGC08／GC10は、フローコントロールバルブFCV-Cとのセットは未対応です。

型番
この商品には1種類の型番があります

シリーズ
超音波流量計 USF500N/600N/560N Series

取扱企業
東フロコーポレーション株式会社

カテゴリ

メーター・計測機器

流量計

メーター・計測機器

超音波流量計

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超音波流量計 USF500N/600N/560N Series 品番1件

商品画像	品番	価格 (税抜)	検出器 (測定範囲)	検出器 (接続口径)	検出器 (流体温度)	検出器 (形状)	標準／高温	流量単位	最大流量	標準SET	流体	最小流量	流量精度 (出荷校正時)	計測チャンネル数	データ更新周期	最高使用圧力 90℃以下	最高使用圧力 90～200 or 90～180℃	破壊圧力 200℃ (180℃、90℃)	最高流体温度	使用環境温度	変換器計測方式	変換器デジタル入力接点	変換器アナログ出力計測出力	変換器アナログ出力分解能	変換器アナログ出力精度	変換器アナログ出力最大負荷抵抗	変換器アナログ出力出力ポート	変換器アナログ出力瞬時流量範囲	変換器アナログ出力積算流量範囲	変換器デジタル出力出力ポート	変換器デジタル出力印加電圧	規格
	USF500N-G08	要見積もり	0~3L/min	Tube 1/4″ (φ6.35×4.35)	標準:Max.90℃ 高温:Max.180℃	USF500 type	無記入:標準仕様 HK:高温仕様 (USF500検出器のみ対応)	A:mL/min (対応口径：G08/10、GZ08/10、GC08/10) B:L/min	測定範囲の最大流量を記入	無記入:標準仕様 F:フローコントロールバルブFCV-Cとのセット仕様	純水,スラリー,薬液 (IPA,H₂O₂,H₂SO₄,H₃PO₄,HF,HCl,O₃,NH₃など)	標準0.001L/min	±1％ of R.D. (測定流量範囲の10％以下：±0.1％ of F.S.) ※「純水20℃ (室温25℃) 、流量安定状態で校正された瞬時流量精度」となります。	2チャンネル	10ms	0.5MPa (G)	0.2MPa (G)	G08:0.98MPa (G) GC08:1.96MPa (G)	標準:90℃ 高温:180℃	0~80℃ (検出器) ／0~50℃ (変換器) ※結露なきこと	超音波伝搬時間差方式	・TTLまたは無電圧接点入力・入力ポート：2系統 (1系統につき1種類の入力を選択可) ※各CHのゼロ点調整入力、積算リセット入力より選択	4-20mA	12bit (約1/4,000ステップ)	4mA±0.05mA、20mA±0.1mA	600Ω	2系統 (1系統につき1種類の出力のみ設定可能) 瞬時流量値、積算値より選択	測定流量範囲同じ	上限設定 (20mA) は任意に設定可能 G08/GC08,G10/GC10:~32.000L (設定ステップ0.001L) G15/G20/G25HK:~320.00L (設定ステップ0.01L)	2系統 (1系統につき1種類の出力を設定可能、アクティブLOW) 各CHの瞬時周波数出力,積算パルス出力,比較出力,エラー出力より選択	Max.35V (VoL=1.3V) ※VoL=ローレベル出力電圧	500N:検出器にUSF500/500Z typeを選択した場合の型式はUSF500Nとなります。