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超音波流量計 USF500S-USF500S-G08
超音波流量計 USF500S-東フロコーポレーション株式会社

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この製品について

半導体洗浄工程で使用される超純水、高純度薬品の流量計測に使用されています。本体は強酸、強アルカリにも耐性あるPFA樹脂を採用しています。

■特長

・DSP機能搭載で安定性・応答性・耐気泡性の向上 ・脱着式ケーブルで配線作業が容易 ・高温流体対応可能 (Max.200℃、高温仕様) ・マルチ通信 (最多31台連結可能)

■型式

USF500S (形状) - (口径) (標準/高温) - (流量単位) (最大流量) (標準SET) - (流体名) - (オプション) - (保守対応) - (通信)

■記入例

・表示なし:USF500S-G15HK-B20-H2SO4 ・表示あり:USF500SL-G08HK-A3000-H3PO4

■注意

G25/GZ25はHK (高温仕様) のみ取り扱いとなります。また、フローコントロールバルブFCV-Cとのセットは未対応です。

  • シリーズ

    超音波流量計 USF500S

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超音波流量計 USF500S 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) 形状 検出器 (測定範囲) 検出器 (接続口径) 検出器 (流体温度) 検出器 (形状) 標準/高温 流量単位 最大流量 標準SET 流体名 保守対応 通信 流体 最小流量 流量精度 (出荷校正時) 計測チャンネル数 データ更新周期 最高使用圧力 90℃以下 最高使用圧力 90~200 or 90~180℃ 破壊圧力 200℃ (180℃) 最高流体温度 使用環境温度 変換器 計測方式 変換器 デジタル入力 接点 変換器 アナログ出力 計測出力 変換器 アナログ出力 分解能 変換器 アナログ出力 精度 変換器 アナログ出力 最大負荷抵抗 変換器 アナログ出力 出力ポート オプション
超音波流量計 USF500S-品番-USF500S-G08

USF500S-G08

要見積もり

無記入:表示なし
L:表示あり

0~3L/min

Tube 1/4″ (φ6.35×4.35)

標準:Max.90℃
高温:Max.180℃

標準型

無記入:標準仕様
HK:高温仕様

A:mL/min (対応口径:G08/10、GZ08/10)
B:L/min

測定範囲の最大流量を記入

無記入:標準仕様
F:フローコントロールバルブFCV-Cとのセット仕様
※表示なしのみ選択可

流体名を記入

AMP:変換器のみ手配
SENSOR:検出器のみ手配

無記入:Modbus-RTU通信
U:USFプロトコル通信

純水,スラリー,薬液 (IPA,H₂O₂,H₂SO₄,H₃PO₄,HF,HCl,O₃,NH₃など)

標準0.001L/min

±1% of R.D. (測定流量範囲の10%以下:±0.1% of F.S.)
※「純水20℃ (室温25℃) 、流量安定状態で校正された瞬時流量精度」となります。

1チャンネル

10ms

0.5MPa (G)

0.2MPa (G)

0.98MPa (G)
常温破壊圧力に200℃ (180℃) の破壊圧力低下係数を掛け合わせた規格値です。ご使用の際は規格値の1/2~1/5以下で運用いただくことを推奨致します。

標準:90℃
高温:180℃

0~80℃ (検出器) /0~50℃ (変換器)
※結露なきこと

超音波伝搬時間差方式

・TTLまたは無電圧接点入力
・入力ポート:2系統 (1系統につき1種類の入力を選択可)
※ゼロ点調整入力、積算リセット入力より選択

4-20mA

12bit (約1/4,000ステップ)

4mA±0.05mA、20mA±0.1mA

600Ω

1系統 (瞬時流量値、積算値より選択)

表示計:セット手配時、デジタルメータ型式を指定

フィルターから探す

流量計をフィルターから探すことができます

口径 mm

5 - 20 20 - 50 50 - 150 150 - 600 600 - 6,000

精度 %FS

0 - 1 1 - 2 2 - 3 3 - 5 5 - 6

使用圧力範囲 MPa

0 - 1 1 - 2

使用温度範囲 ℃

-60 - 0 0 - 50 50 - 100 100 - 150 150 - 200 200 - 300 300 - 500

測定流体

液体 気体

電源電圧 VDC

0 - 10 10 - 20 20 - 30 30 - 40 40 - 50

保護等級 IP

IP54 IP64 IP65 IP66 IP67 IP68 IP69K IPX4

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この商品の取り扱い会社情報

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135.6時間

会社概要

東フロコーポレーション株式会社は、フローコントローラやマスフローコントローラといった流量計の製造販売を主な事業内容とする企業です。 流量計の製造販売のほかには、ラインフィルターや流量センサなどの流体制御機器の製造販売、...

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  • 本社所在地: 東京都

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