ビーム・プラズマファインコーティング装置 iDS®シリーズ iDS®-1000-iDS®-1000

ビーム・プラズマファインコーティング装置 iDS®シリーズ iDS®-1000
日新電機株式会社

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この製品について

■概要アドバンスドコーティングシステム iDS®-1000は、iDS®シリーズの中で最も容量の大きい大量生産用の装置です。

■特長・多機能性に優れるチャンバー設計。
・8角形チャンバーの7面に様々なプラズマ源が搭載可能。
・矩形フランジの採用により、従来型2S蒸発源やスパッタ蒸発源の搭載も可能。
・高出力ヒーターを採用し、基材加熱時間を大幅に短縮。
・成膜エリアが大きく、低生産コスト。
・大型金型処理や一度に大量の基材が処理可能な大規模量産装置。
・蒸発源シャッターを採用し、停止中のターゲット表面の汚染防止。 (オプション) 

型番
この商品には1種類の型番があります

シリーズ
ビーム・プラズマファインコーティング装置 iDS®シリーズ iDS®-1000

取扱企業
日新電機株式会社

カテゴリ

加工・工作機器

コーティング装置

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