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ビーム・プラズマ ファインコーティング装置 iDS®シリーズ iDS®-500-iDS®-500
ビーム・プラズマ ファインコーティング装置 iDS®シリーズ iDS®-500-日新電機株式会社

ビーム・プラズマ ファインコーティング装置 iDS®シリーズ iDS®-500
日新電機株式会社

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この製品について

■概要

アドバンスドコーティングシステム iDS®-500 は、iDS®シリーズの基本となる次世代アークイオンプレーティング装置です。

■特長

・ステアワン蒸発源搭載により、低材料コスト、高平滑性のコーティングが可能。 ・矩形フランジの採用により、従来型2S蒸発源やスパッタ蒸発源の搭載も可能。 ・高出力ヒーターを採用し、基材加熱時間を大幅に短縮。 ・成膜冶具は前後扉のどちらからも出し入れが可能。 ・GBU2重フィラメント切り替えシステムを採用し、ガスボンバード時のフィラメント断線による処理停止リスクを防止。 ・ダストブースの設置により、周囲環境を汚さない設計。 (オプション) ・蒸発源シャッターを採用し、停止中のターゲット表面の汚染防止。 (オプション)

  • シリーズ

    ビーム・プラズマ ファインコーティング装置 iDS®シリーズ iDS®-500

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ビーム・プラズマ ファインコーティング装置 iDS®シリーズ iDS®-500 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) 推奨コーティングゾーン 蒸発源数 付属治具テーブル 成膜方式 基材エッチング方式 対応蒸発源ユニット 推奨設置スペース 重量 オプション
ビーム・プラズマ ファインコーティング装置 iDS®シリーズ iDS®-500-品番-iDS®-500

iDS®-500

要見積もり

φ500×H500[mm]

9units (標準) 、12units (最大)

8軸自公転治具

陰極アーク式イオンプレーティング

ガスボンバード、メタルボンバード

2S蒸発源、ステアワン蒸発源、スパッタ蒸発源

W5500×D6300×H3000 [mm]

装置本体　約3.2t
電源制御盤　約2.1t

ダスト飛散防止ブース
蒸発源シャッター
スパッタ蒸発源

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コーティング kg/回

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日新電機株式会社は、電力・環境システム事業やビーム・プラズマ事業、装置部品ソリューション事業を行う企業です。 電力・環境システム事業としては、顧客ニーズにあわせて電力エネルギーを活用するソリューションの提供、ガス絶縁開...

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