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ビーム・プラズマ ファインコーティング装置 Mシリーズ MF720-MF720
ビーム・プラズマ ファインコーティング装置 Mシリーズ MF720-日新電機株式会社

ビーム・プラズマ ファインコーティング装置 Mシリーズ MF720
日新電機株式会社

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■概要

アドバンスコーティングシステムMF720はMFA蒸発源によってマクロパーティクルの非常に少ない平滑な水素フリーDLC膜が形成でき、かつ生産性にも優れています。

■特長

・低温コーティングに適した2S,2SD蒸発源を始めとして、多彩な蒸発源の搭載が可能。 ・丸型の蒸発源フランジを採用し、2SD蒸発源による多彩な多元素複合膜や積層膜が成膜可能。 ・八角形チャンバーを採用し、各種プラズマ機器を搭載。 ・各ユニットへのアクセス性が良く優れたメンテナンス性。 ・ロングセラーモデルで出荷実績が多数。

  • シリーズ

    ビーム・プラズマ ファインコーティング装置 Mシリーズ MF720

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ビーム・プラズマ ファインコーティング装置 Mシリーズ MF720 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) 推奨コーティングゾーン 蒸発源数 蒸発源ユニット構成 付属治具テーブル 成膜方式 基材エッチング方式 カソードサイズ 扉数 ガス系統 ヒーター 温度モニター 主排気ポンプ 推奨設置スペース
ビーム・プラズマ ファインコーティング装置 Mシリーズ MF720-品番-MF720

MF720

要見積もり

φ720×H800[mm]

5units

MF蒸発源×5

12軸自公転治具

陰極アーク式イオンプレーティング

ガスボンバード、メタルボンバード

φ64×t32

2ドア

標準4系統

標準装備

標準装備 (熱電対計測3か所)

ターボ分子ポンプ

W5,000×D6,500×H3,000[mm]

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使用用途

#電子部品 #半導体製造 #光学機器 #自動車部品 #医療機器 #食品包装 #金属表面処理

成膜方式

真空蒸着型 スパッタリング型 CVD型 ディップコート型 スプレーコート型 ロールコート型

環境条件

大気圧型

構造仕様

バッチ型 インライン型 ロータリー型

機能特性

多層成膜型 高速成膜型 高精度成膜型

コーティング kg/回

10 - 20 20 - 30

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この商品の取り扱い会社情報

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会社概要

日新電機株式会社は、電力・環境システム事業やビーム・プラズマ事業、装置部品ソリューション事業を行う企業です。 電力・環境システム事業としては、顧客ニーズにあわせて電力エネルギーを活用するソリューションの提供、ガス絶縁開...

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  • 本社所在地: 京都府
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