多様な基板へフレキシブルに対応コータ・デベロッパ SK-60EX/SK-80EX-SK-60EX

多様な基板へフレキシブルに対応コータ・デベロッパ SK-60EX/SK-80EX
株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ

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この製品について

SK-60EX/SK-80EXは、多様化する電子デバイス製造ニーズに応えるため、対応アプリケーションと機能を充実させました。また、基本システムの性能の向上を図り、将来にわたって安心してご使用いただける装置となっています。

特長
■ロングセラー 60/80シリーズの高い実績と信頼性を継承SK-60EX/SK-80EXでは、多くの実績を持つ60/80シリーズで裏付けられた「高信頼性への設計思想」を継承。ご利用いただく環境に対し柔軟かつ安定した性能を提供します。

また、これまでの60/80シリーズで培った技術の踏襲と、その機能アップを図り、先端分野や特殊用途向け機能についても対応します。

■将来の拡張性にも安心して対応できる制御システムへの刷新常に進化を続ける60/80シリーズ。将来にわたり安心してご使用いただけるように、制御システムを刷新しました。このシステム強化により、進化し続ける電子デバイス製造の中で求められる新たなニーズに対し、柔軟かつ迅速な対応が可能です。

■60/80シリーズとの基本互換性を維持操作環境および画面構成を拡張しつつ、レシピ作成の基本思想は共通化しており、すでに60/80シリーズの操作に慣れた方々にも優しい環境をご提供します。

また、60/80シリーズとプロセスレシピデータの互換性を維持しており、SK-60EX/SK-80EXへの良好な移植性を確保。スムーズな増設計画に対応します。

■多様な基板へのフレキシブルな対応薄ウェーハ、厚基板、アルチック・フェライト系磁性材料基板、ガラス基板、LT基板、サファイア基板、両面パターン付基板など、基板特性を考慮し、最適化されたさまざまな選択オプションを用意。その組み合わせから、多種・多様な基板に対応します。

■先端技術開発で培った機能対応多様化する電子デバイス開発の中で、先端プロセス機能が求められる場合、さまざまな選択オプションのご提供とともに、そのプロセス実現に向けて各種サポートを行います。

型番
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シリーズ
多様な基板へフレキシブルに対応コータ・デベロッパ SK-60EX/SK-80EX

取扱企業
株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ

カテゴリ

加工・工作機器

コーター

半導体製造

半導体製造装置

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	SK-60EX	要見積もり

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有効塗布幅 mm

200 - 400 400 - 800 800 - 1,200

ポンプ吐出量 ℓ/min

0 - 50 50 - 100

塗工方式

グラビアコーターダイコータースロットダイコーターミニスロットダイコーターコンマコーターブレードコーターダイレクトコートスリットコーター

塗工速度 mm/s

0 - 100 100 - 500 500 - 1,000 1,000 - 3,500

XYZ繰返し位置精度 μm

0 - 10 10 - 100 100 - 150

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私たち株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズは、大日本スクリーン製造株式会社（現、株式会社SCREENホールディングス）の半導体事業を全て承継し、半導体製造装置の専業メーカーとしてスタートしました。

本社所在地: 京都府

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