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電動アクチュエータ クリーンシリーズ 低発塵構造 CSKR-CSKR20
電動アクチュエータ クリーンシリーズ 低発塵構造 CSKR-THK株式会社

電動アクチュエータ クリーンシリーズ 低発塵構造 CSKR
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この製品について

■クリーンシリーズ 低発塵構造 CSKR

CSKRは、SKRを使用したクリーン環境に最適な電動アクチュエータ

■クリーン環境に最適な低発塵構造

シールシートを用いた独自のカバーリング機構により、CSKR20/26ではクリーン度ISO14644‒1※1クラス3 (FED209Dクラス1相当) ※2、 CSKR33/46ではクリーン度ISO14644‒1※1クラス4 (FED209Dクラス10相当) ※2を達成しました。 ※1 ISO14644‒1：1999はJIS B9920相当です。 ※2 クラス3またはクラス4を達成するには、吸引継手から吸引が必要です。

■高速

CSKR33/46ではISO14644‒1※1クラス4 (FED209Dクラス10相当) ※2の環境下において、最高速度2,000mm/sの連続動作※3が可能です。 ※1 ISO14644‒1：1999はJIS B9920相当です。 ※2 クラス3またはクラス4を達成するには、吸引継手から吸引が必要です。 ※3 潤滑剤にTHK AFE‒CAグリースを使用した場合です。

■長期メンテナンスフリー

CSKRはLMガイド部、ボールねじ部にボールリテーナ※4を採用しており、長期メンテナンスフリーを実現しました。 ※4 オプション対応となります。 (CSKR20/26はLMガイド部のみにボールリテーナを採用し、ボールねじ部には潤滑装置QZを装着しています。)

■クリーン仕様

CSKRは、低発塵特性に優れたAFE‒CAグリース (THK製) とクリーン仕様のワンタッチ管継手KPQL (SMC (株) 製) を採用しています。

■使用例 ウエハーパレタイジング:搬送

ウエハー搬送部にCSKRを使用しています。高いクリーン度要求のため、クリーンシリーズのCSKRが採用されました。また、3軸直交での剛性も高く、コンパクトに組上げることを可能にいたしました。

  • シリーズ

    電動アクチュエータ クリーンシリーズ 低発塵構造 CSKR

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電動アクチュエータ クリーンシリーズ 低発塵構造 CSKR 品番1件

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電動アクチュエータ クリーンシリーズ 低発塵構造 CSKR-品番-CSKR20

CSKR20

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使用用途

#ダンパー開閉 #流量制御 #搬送・組み立て #位置決め #昇降 #押付・引張り #回転 #試験・計測 #バルブ開閉 #角度調整 #蛇行修正 #ウエブガイド #回転角度調整 #ストッパ #吸着 #荷重コントロール #圧力制御 #リフター

最大推力 Kg

0 - 200 200 - 500 500 - 1,000

ストローク mm

0 - 100 100 - 500 500 - 1,000 1,000 - 2,000 2,000 - 5,000

定格トルク N・m

0 - 10 10 - 20 20 - 50 50 - 100

保護等級

IP20 IP30 IP40 IP55 IP65 IP67 IP69K

動作時間 秒/90°

30 - 50 50 - 60

使用温度範囲 ℃

-40 - -10 -10 - 0 0 - 40 40 - 50 50 - 60 60 - 70 70 - 85

繰返し位置決め精度 mm

0 - 0.01 0.01 - 0.02 0.02 - 0.03 0.03 - 0.04 0.04 - 0.05 0.05 - 0.06

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会社概要

THK株式会社は1971年に設立された機械要素部品の開発・製造・販売を行う金属加工メーカーです。 主力製品である「LMガイド」は世界で初めて直線運動部の転がり化を実用化した製品で、機械の高精度化・省力化・高速化・長寿命...

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  • 本社所在地: 東京都

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