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ZLMレーザー干渉計 ZML 700取扱企業
エルアンドエム株式会社カテゴリ
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| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | 測定対象物の速度 | インターポレーションフリー分解能 | 加速制限 | 信号遅延時間 | 耐性 | 真空中波長He-Neレーザー | 波長安定性 | 直径 | 最大出力ビーム出力 | レーザーあたりの測定軸数 | 測定範囲、距離測定 | 分解能、距離、位置測定 | 真空中でのAUKによる精度距離および位置測定 | 測定範囲、角度測定 | 角度測定分解能 | 精度角度測定 | 角度測定精度 (ステップバイステップの手順) | 測定範囲、平坦度測定 | 分解能 平坦度測定 | 精度 平坦度測定 | 測定範囲、真直度測定 | 解像度、真直度測定 | 精度 2 mから10 mまでの真直度測定 | 重直度測定の測定範囲 | 最大2 mから10 mの重直性測定の分解能 | 最大移動速度 | 精度、速度、測定 | 最大加速度 | 非線形 | インターフェイス |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|
ZML 700 |
要見積もり |
最大12m/s |
1.25 nm (平面鏡干渉計 0.625 nm、二重平面鏡干渉計 0.3 nm) |
なし |
< 100ns |
電磁干渉に対する耐性 |
632.8 nm |
2 × 10⁻⁹ 1時間 / 2 × 10⁻⁸ 生涯 |
6 mm (オプションで3.2 mm) |
1 mW (レーザー クラス 2) |
最大6までオプション |
最大40 m オプションで最大120 m |
2.5 nm (三重反射鏡干渉計) |
± 0.4 ppm (μ/m) |
±15°から20 mの長さ |
0.062 μrad (12・10⁻³ arc sec) |
± 0.1 ppm |
± 0.05 arcsec/mの移動 |
長さ20 mまで |
0.062 μrad (12・10⁻³ arc sec) |
± 測定値の0.2% |
± 長さ2 m または10 mで |
2 mで29 nm、10 mで145 nm |
測定値の0.5% |
± 2 m または10 mの長さで 5 mm |
2 mで29 nm、10 mで145 nm |
4 m/s、オプション16m/s 並進 |
± 0.5 ppmの読み取り値 |
制限なし |
± 1.25 nm (三重反射鏡干渉計) |
直交信号 |
