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ZLMレーザー干渉計 ZML 700-ZML 700
ZLMレーザー干渉計 ZML 700-エルアンドエム株式会社

ZLMレーザー干渉計 ZML 700
エルアンドエム株式会社



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この製品について

■ほとんどのアプリケーションに対応する単軸レーザー干渉計

デュアル周波数レーザー変位測定システムZLM 700により、レーザー干渉計の構築における長い伝統がイエナで受け継がれています。安定化ヘリウムネオンガスレーザーの実証済みのスケール具現化特性は、最新の電子機器と組み合わせて、新しいレーザー干渉測定システムを形成します。 プログラマブルASICデバイスは、お客様の要件の技術的な実装において全く新しい可能性を可能にします。ZLM 700の可能なアプリケーションは、位置推定システムから多軸位置決めの装置、機械やシステムの完全な制御システムまで多岐にわたります。ZLM 700は、豊富のツアイス光学モジュールを備えた完全モジュール式システムとして、レーザー干渉学で可能なすべての測定タスクの解決を保証します。

■機能

開発されたデュアル周波数レーザー変位測定システムZLM 8000の特許取得済みの動作原理は、He-Neガスレーザーのデュアル周波数ヘテロダイン法に基づいています。レーザーの2つのモードの640 MHzのビート周波数は、熱的に0.002 ppmに安定しており、信号処理のために4倍になっています。この高周波信号処理により、補間誤差や信号遅延の非常に低い遅延なしに、非常に高いオブジェクト速度での測定が可能になります。光サンプルは、干渉計の光学系からPCプラグインカード上の測定データ収集装置に測定信号を転送するために使用されるため、磁歪現象の影響を受ける信号帯域が排除されます。したがって、ZLM 8000応用分野は、適応する産業環境から測定室内条件や精度まで多岐にわたります。 PCプラグインカードの代わりに、測定値の出力や制御ループでの使用のための多数のインターフェースを備えた測定信号処理用の独立した電子ユニットが提供されています。このバリアントは、最大6軸までアップグレードできます。

  • シリーズ

    ZLMレーザー干渉計 ZML 700

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ZLMレーザー干渉計 ZML 700 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) 測定対象物の速度 インターポレーションフリー分解能 加速制限 信号遅延時間 耐性 真空中波長He-Neレーザー 波長安定性 直径 最大出力ビーム出力 レーザーあたりの測定軸数 測定範囲、距離測定 分解能、距離、位置測定 真空中でのAUKによる精度距離および位置測定 測定範囲、角度測定 角度測定分解能 精度角度測定 角度測定精度 (ステップバイステップの手順) 測定範囲、平坦度測定 分解能 平坦度測定 精度 平坦度測定 測定範囲、真直度測定 解像度、真直度測定 精度 2 mから10 mまでの真直度測定 重直度測定の測定範囲 最大2 mから10 mの重直性測定の分解能 最大移動速度 精度、速度、測定 最大加速度 非線形 インターフェイス
ZLMレーザー干渉計 ZML 700-品番-ZML 700

ZML 700

要見積もり

最大12m/s

1.25 nm (平面鏡干渉計 0.625 nm、二重平面鏡干渉計 0.3 nm)

なし

< 100ns

電磁干渉に対する耐性

632.8 nm

2 × 10⁻⁹ 1時間 / 2 × 10⁻⁸ 生涯

6 mm (オプションで3.2 mm)

1 mW (レーザー クラス 2)

最大6までオプション

最大40 m オプションで最大120 m

2.5 nm (三重反射鏡干渉計)
1.25 nm (平面鏡干渉計)

± 0.4 ppm (μ/m)
± 0.08 ppm (μ/m)

±15°から20 mの長さ

0.062 μrad (12・10⁻³ arc sec)

± 0.1 ppm

± 0.05 arcsec/mの移動
速度 (直線移動光学系)

長さ20 mまで

0.062 μrad (12・10⁻³ arc sec)

± 測定値の0.2%
±0.05μrad/mの変位

± 長さ2 m または10 mで
5 mm 長さ30 m (オプション) 、角度干渉計付き

2 mで29 nm、10 mで145 nm

測定値の0.5%
±測定値の2.5%

± 2 m または10 mの長さで 5 mm

2 mで29 nm、10 mで145 nm

4 m/s、オプション16m/s 並進
320 rad/s ロータリー

± 0.5 ppmの読み取り値

制限なし

± 1.25 nm (三重反射鏡干渉計)
± 0.62 nm (平面鏡干渉計)

直交信号
32ビット (リアルタイム)
Δt≈20ns

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