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オープンタイプリニアエンコーダ 真空用アブソリュートリニアエンコーダ LIF 400 Vシリーズ-LIF481V
オープンタイプリニアエンコーダ 真空用アブソリュートリニアエンコーダ LIF 400 Vシリーズ-ハイデンハイン株式会社

オープンタイプリニアエンコーダ 真空用アブソリュートリニアエンコーダ LIF 400 Vシリーズ
ハイデンハイン株式会社



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この製品について

■リニアエンコーダ

リニアエンコーダは機械部品を介入させずに直線軸の位置を測定します。これにより、バックラッシュ、ピッチ誤差、ボールねじの発熱など 、誤差要因を除去することができます。 高い位置決め精度と高速加工が必要な場合、リニアエンコーダは必要不可欠です。

■真空用アブソリュートリニアエンコーダ

・最長1,640 mmまでの高精度直線軸用 ・超高分解能 (<2 nm) ・リミットスイッチとホーミングトラックを利用した位置検出が可能 ・インターフェース:1 VPP、TTL ・プリント基板、接着剤、コーティング剤を真空対応にしアウトガス量を低減 ・通気孔により排気時間を短縮 ・高ベーキング温度が可能な耐熱性 ・非強磁性材料を採用することで高いプロセス信頼性を実現 ・包装前のベーキングにより優れた清浄度を実現

■取付けが簡単

信号周期が小さい場合、走査ヘッドとスケール間の取付け公差は非常に狭くなります。HEIDENHAINのオープンタイプリニアエンコーダは取付けを簡単にするために取付け公差が大きく、出力信号にほとんど影響をおよぼしません。

■高精度走査

リニアエンコーダ LIF 400は位相格子目盛を干渉走査方式により測定します。超高分解能かつ超高精度が特長です。走査ヘッドの低発熱性により、温度に起因する誤差を防ぐことができます。

■安定した高い信号品質

HEIDENHAINの信号処理ASIC HSP 1.0により、常に高品質の走査信号が出力可能です。ASICは汚れのある状態でも最適な信号波形を維持します。ノイズも均一に低く抑えられています。

■原点復帰が速い

ホーミング機能を搭載しているため、迅速な位置検出と原点復帰が可能です。これはストロークの長い軸では特に役立ちます。リミット機能は、他のセンサを追加しないでリミット位置の検出が可能です。

■高真空用途向け

真空技術は、エレクトロニクス産業、薄膜形成技術、材料研究、バイオテクノロジー産業、医療技術および高度な実験装置など多くの最先端研究、生産プロセスで重要な役割を果たします。

■高い汎用性

多くの優れた機能を備えたリニアエンコーダLIF 400は汎用的に使用することが可能です。また、高集積化により、エンコーダは軽量かつコンパクトです。

  • シリーズ

    オープンタイプリニアエンコーダ 真空用アブソリュートリニアエンコーダ LIF 400 Vシリーズ

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オープンタイプリニアエンコーダ 真空用アブソリュートリニアエンコーダ LIF 400 Vシリーズ 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) 目盛本体 熱膨張係数 精度等級 狭ピッチ精度 測定長ML (mm) 原点 スケール質量 インターフェース 信号周期 カットオフ周期 -3dB 走査速度 内挿精度 ポジションノイズRMS 電気的接続 ケーブル長 供給電圧 消費電流 (標準値) 振動 55Hz~2,000Hz 衝撃 6ms 使用温度 プリント基板材質 走査ヘッド質量 ケーブル質量 コネクタ質量
オープンタイプリニアエンコーダ 真空用アブソリュートリニアエンコーダ LIF 400 Vシリーズ-品番-LIF481V

LIF481V

要見積もり

SUPRADUR位相格子付きZerodurガラスセラミックもしくはガラス、目盛間隔: 8 µm
αtherm = (0±0.1) · 10^-6 K^-1 (Zerodurガラスセラミック) 他

±3 µm

≦ ±0.225 µm/5 mm

70 120 170 220 270 320 370 420 470 520 570 620 670 720 770 820 870 920 970 1,020 1,140 1,240 1,340 他

測定長中央に1箇所

0.8 g + 0.08 g/mm (測定長)

1 VPP

4 µm

≦ 1 MHz

≦ 240 m/min

±12 nm

0.6 nm (1 MHz) (後続電子機器のカットオフ周波数–3 dBにおいて)

インターフェースユニットを大気側に設置:
真空側: 真空フィードスルー接続用ケーブル (0.5 m、1 m、2 m、もしくは2.5 m) 等

インクリメンタル: ≦ 30 m、ホーミング、リミット: ≦ 10 m (ハイデンハイン製ケーブル使用時)

DC 5 V ±0.25 V

< 150 mA

≦ 400 m/s2 (IEC 60068-2-6)

≦ 500 m/s2 (IEC 60068-2-27)

0 ℃ ~ 50 ℃

FR4

9 g

38 g/m

75 g

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