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オープンタイプリニアエンコーダ 真空用アブソリュートリニアエンコーダ LIC 4100 Vシリーズ-LIC4113V
オープンタイプリニアエンコーダ 真空用アブソリュートリニアエンコーダ LIC 4100 Vシリーズ-ハイデンハイン株式会社

オープンタイプリニアエンコーダ 真空用アブソリュートリニアエンコーダ LIC 4100 Vシリーズ
ハイデンハイン株式会社

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この製品について

■リニアエンコーダ

リニアエンコーダは機械部品を介入させずに直線軸の位置を測定します。これにより、バックラッシュ、ピッチ誤差、ボールねじの発熱など 、誤差要因を除去することができます。 高い位置決め精度と高速加工が必要な場合、リニアエンコーダは必要不可欠です。

■オープンタイプリニアエンコーダ

オープンタイプリニアエンコーダは走査ヘッドとスケールまたはスケールテープの間で機械的接触がない状態で動作します。半導体産業用製造装置、計測装置、ピックアンドプレースマシン、ダイレクトドライブ搭載機での使用に最適です。

■真空用アブソリュートリニアエンコーダ

・高速制御の直線軸用 ・超高分解能 (<1 nm) ・インターフェース：EnDat、ファナック、三菱、パナソニック、安川 ・プリント基板、接着剤、コーティング剤を真空対応にしアウトガス量を低減 ・通気孔により排気時間を短縮 ・高ベーキング温度が可能な耐熱性 ・非強磁性材料を採用することで高いプロセス信頼性を実現 ・包装前のベーキングにより優れた清浄度を実現

■高真空用途向け

真空技術は、エレクトロニクス産業、薄膜形成技術、材料研究、バイオテクノロジー産業、医療技術および高度な実験装置など多くの最先端研究、生産プロセスで重要な役割を果たします。

■高速対応

リニアエンコーダLICは、高精度と高速制御が特長です。測定分解能1 nmと最高走査速度600 m/minが可能です。アブソリュート位置測定で、優れた耐環境性により高い信頼性があります。

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    オープンタイプリニアエンコーダ 真空用アブソリュートリニアエンコーダ LIC 4100 Vシリーズ

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