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商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | 圧力レンジ | 総合精度 | 出力 | 電源 | 温度補償範囲 | 応答性 | 特長 | |
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
10 SLPM |
要見積もり | 0~10SLPM...300SLPM (0℃、1気圧時) |
0.5%FS (0~12.5%FS時) 4.0%RD (12.5%~100%FS時) |
I2C | 3VDC~10VDC | 0~50℃ | 1msec | 熱式質量流量計 | ||
15 SLPM |
要見積もり | 0~10SLPM...300SLPM (0℃、1気圧時) |
0.5%FS (0~12.5%FS時) 4.0%RD (12.5%~100%FS時) |
I2C | 3VDC~10VDC | 0~50℃ | 1msec | 熱式質量流量計 | ||
20 SLPM |
要見積もり | 0~10SLPM...300SLPM (0℃、1気圧時) |
0.5%FS (0~12.5%FS時) 4.0%RD (12.5%~100%FS時) |
I2C | 3VDC~10VDC | 0~50℃ | 1msec | 熱式質量流量計 | ||
50 SLPM |
要見積もり | 0~10SLPM...300SLPM (0℃、1気圧時) |
0.5%FS (0~12.5%FS時) 4.0%RD (12.5%~100%FS時) |
I2C | 3VDC~10VDC | 0~50℃ | 1msec | 熱式質量流量計 | ||
100 SLPM |
要見積もり | 0~10SLPM...300SLPM (0℃、1気圧時) |
0.5%FS (0~12.5%FS時) 4.0%RD (12.5%~100%FS時) |
I2C | 3VDC~10VDC | 0~50℃ | 1msec | 熱式質量流量計 | ||
200 SLPM |
要見積もり | 0~10SLPM...300SLPM (0℃、1気圧時) |
0.5%FS (0~12.5%FS時) 4.0%RD (12.5%~100%FS時) |
I2C | 3VDC~10VDC | 0~50℃ | 1msec | 熱式質量流量計 | ||
300 SLPM |
要見積もり | 0~10SLPM...300SLPM (0℃、1気圧時) |
0.5%FS (0~14.3%FS時) 4.0%RD (14.6~66.3%FS時) 7.0%RD (66.6~100%FS時) |
I2C | 3VDC~10VDC | 0~50℃ | 1msec | 熱式質量流量計 |