FA 計測・測定システム超高精度三次元測定機 UA3Pシリーズ
パナソニックインダストリー株式会社

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■『測定できないモノは作れない』UA3Pは、さまざまな微細形状測定でナノ精度モノづくりをサポート。スマートフォン・DSC・DVDやBlu-rayなどのデジタル家電、ホームセキュリティー、光通信、車載用HUDなどに欠かせない非球面レンズや自由曲面ミラー及びその金型を、最高0.01 μmの精度で測定を実現。簡単操作で加工へのフィードバックもスピーディーに対応します。

■超高精度三次元測定機 UA3Pシリーズの測定範囲・傾斜角70度で±0.10 μmの超高精度測定から□500 mmの大型部品測定までフルラインアップ
・測定対象：モバイルレンズ、レンズ用バレル、DSLRレンズ、fθレンズ、X線望遠ミラー、レンズ金型、カメラ用レンズ、トーリックレンズ金型、ステッパーレンズ

超高精度測定を実現するテクノロジー
■座標測定技術測定機の座標系は、ステージと独立した3枚の参照平面 (ミラー) で構成され、周波数安定化He-Neレーザを光源としたレーザ干渉法によりXYZ各軸を分解能0.3nmで測長します。これによりステージの直角度・真直度による影響を抑え、高精度測定を実現します。

■上面測定プローブ/AFP・超低測定力で測定物の高精度スキャニング測定が可能です。スタイラスはマイクロエアスライダーで保持され、フォーカス用レーザによりスタイラスの動きを検出し、測定力が一定になるようにAFPの位置を測定物の形状に合わせて追従します。

■側面測定プローブ/ S-AFP・高精度に検出されたプローブミラーの傾きをXYステージにフィードバックし、低接触力 (0.3 mN) のスキャン測定が可能です。レンズ鏡筒 (バレル) などの樹脂製品で変形無く測定が可能です。
・測定力：0.3 mN (30 mgf) 
・測定精度：±0.15 μm (90°傾斜測定時) 
・測定最大角度：水平方向測定時45°～90° (水平面に対する角度) 、垂直方向測定時80°～90° (水平面に対する角度) 

■ソフトウェア簡単な操作で、高速・高精度な測定を実現。あらゆる設計情報に対応でき、測定物の設置誤差を3次元的に補正して正確な形状測定が可能です。

■上側面評価技術上面測定データと側面測定データを合成し、側面基準でレンズや金型の光軸の偏心、傾きが評価可能

型番
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シリーズ
FA 計測・測定システム超高精度三次元測定機 UA3Pシリーズ

取扱企業
パナソニックインダストリー株式会社

カテゴリ

測定機器

三次元測定機

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重量 kg

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レーザークラス

1 2

動作温度 ℃

-20 - 0 0 - 10 10 - 20 20 - 45 45 - 60

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