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FA 半導体関連システム プラズマダイサー APX300-DM-APX300-DM
FA 半導体関連システム プラズマダイサー APX300-DM-パナソニックインダストリー株式会社

FA 半導体関連システム プラズマダイサー APX300-DM
パナソニックインダストリー株式会社

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この製品について

■APX300-DMはプラズマによる化学反応プロセスを用いた加工であり、既存のブレードによるメカニカルなダスト・デブリ・振動・水圧が無く、クリーンな加工をご提案します。

・シングルチャンバー構成で研究開発から量産まで幅広く対応可能 ・同一チャンバーで異なる材質の連続加工が可能 (Si＋絶縁膜※ ) ・200mmリング付きウエハ/300mmリングフレーム付きウエハに対応 ※SiO2、SiN、etc

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    FA 半導体関連システム プラズマダイサー APX300-DM

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FA 半導体関連システム プラズマダイサー APX300-DM 品番1件

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