除震装置・除震システムユニットタイプユニット型空気ばね式除振装置 APシリーズ-AP-80

除震装置・除震システムユニットタイプユニット型空気ばね式除振装置 APシリーズ
明立精機株式会社

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この製品について

精密機器の個性に合わせた最適な除振システムが低コストで構成できます。

除振装置には、優れた性能はいうまでもなく、よりフレキシブルであることが重視されます。それは、精密機器の個性に合わせた最良の除振システムを、直接機器に組み込むことが多くなってきたからです。こうしたニーズに即応できる除振システム、それがAPシリーズです。余裕ある機能に加えて、拡張性も充分。より理想的な振動環境を、この除振システムが実現します。

■適用分野・計測・計量機器
・半導体製造・精密加工

概要・特長
■技術と実績が光る明立の空気ばね除振システム顕微鏡やレーザー応用技術から半導体製造・検査装置に至るまで、幅広い分野で数多くの実績がある空気ばねシステムを採用。数Hzから数百Hz までの広い周波数帯域にわたり優れた除振性能を保証します。また、空気の供給が停止した状態でも、空気ばね下部の防振ゴムが搭載機器の精密なメカニズムを保護します。

■汎用性のあるユニットタイプ装置に組み込む場合、除振システムの設置スペースはより小さいことが求められます。APシリーズは空気ばねとそれを制御する高感度レベル維持センサーをコンパクトにまとめたユニットタイプ。装置に大幅な仕様変更を加えることなく装着でき、高い除振性能を得ることができます。

■全高は185mm で統一 (浮上時) この除振システムはすべて全高185mm で統一。万一、設計変更により搭載機器質量の増減があっても装置の全高を変えずに対応が可能です。

■幅広い搭載質量をカバー除振を必要とする精密機器は、年々その種類や使用目的が多様化しています。精密機器の質量にあわせてAP-80から380 まで11 種類をライン・アップ、数百キロから10トンを越える大型の精密機器に対しても対応可能です。

■クリーンルームへの対応も可能高レベルのクリーンルーム内で使用する場合、エアーの集中排気ができるクリーンルーム用レベル維持センサーに変更可能です。 (特注となりますので別途お問い合わせ下さい。また2段式センサーは変更不可。)

型番
この商品には1種類の型番があります

シリーズ
除震装置・除震システムユニットタイプユニット型空気ばね式除振装置 APシリーズ

取扱企業
明立精機株式会社

カテゴリ

保護材・保護機器

除振台

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防振台

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除震装置・除震システムユニットタイプユニット型空気ばね式除振装置 APシリーズ品番1件

商品画像	品番	価格 (税抜)	固有振動数	除振方式	制振方式	レベル維持方式	機体寸法 W×D×H (mm)	機体質量 (kg・空気ばね1個)	搭載可能質量 (kg) (空気ばね4個使用時)	供給圧力
	AP-80	要見積もり	垂直・水平:2.5~3.0Hz	空気ばね	オリフィスによるエアーダンピング	自動レベル維持機構 (復帰精度±200μm)	170×170×185	10.5	560	0.40~0.70MPa (空気源：コンプレッサ・工場エアー・窒素ボンベ)