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除震装置・除震システム ユニットタイプ 空気圧制御式アクティブ除振装置 MRZシリーズ-MRZ-120
除震装置・除震システム ユニットタイプ 空気圧制御式アクティブ除振装置 MRZシリーズ-明立精機株式会社

除震装置・除震システム ユニットタイプ 空気圧制御式アクティブ除振装置 MRZシリーズ
明立精機株式会社



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この製品について

FPD製造装置等大型装置向アクティブ除振装置のロープライス化を実現しました。 多くの納入実績を持つMAPSシリーズ。その中でも特に要望の多かったMAPS-130,240の性能はそのままに、一から設計を見直しすることによりコストパフォーマンス向上を実現したMRZシリーズを開発・実用化しました。

■適用分野

・計測・計量機器 ・半導体製造・精密加工 概要・特長

■主な用途

FPD・半導体製造装置、電子顕微鏡・真空関連装置、測定機器、超精密加工機、etc.

■6自由度アクティブ制御

・垂直・水平の空気圧アクチュエータを組み込んだユニットタイプ ・パッシブ除振では難しい帯域の振動も除振します。

■アクティブ状態でFB+FloorFF制御を行います

・FB:フィードバック制御系 ・FloorFF:床振動フィードフォワード制御系 ・StageFF:ステージフィードフォワード制御系 (オプション)

■「軽量・コンパクト」「低消費電力」「低価格」

ユニットの軽量・コンパクト化、消費電力の低減、ロープライスを実現しました。

■特許取得済

特許第5457821号

  • シリーズ

    除震装置・除震システム ユニットタイプ 空気圧制御式アクティブ除振装置 MRZシリーズ

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除震装置・除震システム ユニットタイプ 空気圧制御式アクティブ除振装置 MRZシリーズ 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) 搭載可能質量 (kg) (4ユニット使用時) 機体寸法 W×D×H (mm) ユニット質量 (kg/個) 供給空気圧 (MPa) 定常空気消費量 (l/min) 最大空気消費量 (l/min) 電源電圧 (V) 最大消費電力 (VA) 周囲温度 (℃) 周囲湿度 (%RH) 除振・制振方式 コントローラ寸法 W×D×H (mm) 1ユニットあたりの機体質量 (kg)
除震装置・除震システム ユニットタイプ 空気圧制御式アクティブ除振装置 MRZシリーズ-品番-MRZ-120

MRZ-120

要見積もり

500~1,500

240x240x191

25

0.6~0.8 (Clean dry air)

45~65

120

100~240 (AC単相, 50/60Hz)

120

0~40

35~85

空気圧制御による振動制御

435x300x118

7.5

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この商品の取り扱い会社情報

会社概要

明立精機株式会社は、振動やノイズに対処する除振装置や除振システムの開発・製造を主な事業としている企業です。 設立は1968年で、製造は神奈川県座間市に工場、大阪市淀川区西中島にある大阪営業所を置き、海外では韓国と中国に...

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  • 本社所在地: 神奈川県
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