除震装置・除震システムユニットタイプ空気圧制御式アクティブ除振システム MAPSシリーズ-MAPS-008

除震装置・除震システムユニットタイプ空気圧制御式アクティブ除振システム MAPSシリーズ
明立精機株式会社

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この製品について

6自由度アクティブ制御で全自由度の振動に対して優れた除振性能、制振性能、位置決め性能を発揮
MAPSシリーズは必要とされる全ての機能を、お客様の装置に組み込みやすいように小型ユニットタイプにまとめたアクティブ除振ユニットです。

■適用分野半導体製造・精密加工

概要・特長
■小型でも全自由度の振動に対応明立精機MAPSシリーズのアクティブ除振システムはコンパクトな形状の中に垂直用と水平用の空気圧アクチュエータを組み込んだユニットタイプです。4ユニット使用することにより、全自由度の振動に対して優れた除振性能、制振性能、位置決め性能を発揮します。

■パッシブ除振では難しい帯域の振動もカット・パッシブ除振では固有振動による共振が常に問題となるケースがしばしばありますが、アクティブ化によって固有振動による共振を取り除くことができます。
・更にこの帯域で優れた除振性能を得ることも可能です。例えば、パッシブ除振の不得意とする2 Hz近辺の低周波振動は、パッシブ除振と比較して、1／30~1／100以下まで小さくすることができます。

■標準MAPSで10トン以上の装置除振可能最近の精密機器は、機能の充実に伴いますます大型化する傾向にあります。総重量で10トンを越える装置も既に開発されています。装置の大型化によって装置自体の固有振動数を高く保つことが難しくなるため、従来ほとんど問題にならなかった低周波振動に対しても影響を受けやすくなっています。これも低周波振動の除振性能に優れるアクティブ除振システムが必要とされる理由の一つです。

■ステージ等の稼働する装置を搭載しても揺れません・柔らかな弾性体で支持することによって除振するパッシブ除振装置上では、X－Yステージなどの動きを伴う装置を搭載すると、全体が大きく揺れてしまいかえって振動を増やしてしまうことにもなりかねません。
・アクティブ除振では、静止状態を常に保つようにフィードバック制御するので揺れを小さくすることができます。さらに、予めステージの動きを信号として出力できれば、発生する振動が最も小さくなるようにフィードフォワード制御できるので、ほとんど揺れのない環境を提供することも可能です。

型番
この商品には1種類の型番があります

シリーズ
除震装置・除震システムユニットタイプ空気圧制御式アクティブ除振システム MAPSシリーズ

取扱企業
明立精機株式会社

カテゴリ

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防振台

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除震装置・除震システムユニットタイプ空気圧制御式アクティブ除振システム MAPSシリーズ品番1件

商品画像	品番	価格 (税抜)	搭載可能質量 (kgf) (4ユニット使用時)	機体寸法 W×D×H (mm)	トッププレート／ベースプレート取付穴数量	1ユニットあたりの機体質量 (kg)	供給空気圧 (MPa)	定常空気消費量 (\|/min)	最大空気消費量 (\|/min)	電源電圧［V)	最大消費電力 (VA)	周囲温度 (℃)	周囲湿度 (%RH)	ばね上構造体固有振動数 (Hz)	除振・制振方式	レベル維持方式	除振性能	制御軸数
	MAPS-008	要見積もり	400~800	235×235×130	4	13	0.6~0.8 (クリーンエアー)	45~65	120	100~240 (AC単相,50/60 Hz)	180	0~40	35~85 (結露しないこと)	200以上 (推奨値)	空気圧制御による振動制御	空気圧制御による位置制御	振動伝達率参照	≦6