除震装置・除震システムユニットタイプ空気圧制御式アクティブ除振システム MAPSシリーズ-MAPS-008

除震装置・除震システムユニットタイプ空気圧制御式アクティブ除振システム MAPSシリーズ
明立精機株式会社

無料
見積もり費用は無料です、お気軽にご利用ください

電話番号不要
不必要に電話がかかってくる心配はありません

この製品について

6自由度アクティブ制御で全自由度の振動に対して優れた除振性能、制振性能、位置決め性能を発揮
MAPSシリーズは必要とされる全ての機能を、お客様の装置に組み込みやすいように小型ユニットタイプにまとめたアクティブ除振ユニットです。

■適用分野半導体製造・精密加工

概要・特長
■小型でも全自由度の振動に対応明立精機MAPSシリーズのアクティブ除振システムはコンパクトな形状の中に垂直用と水平用の空気圧アクチュエータを組み込んだユニットタイプです。4ユニット使用することにより、全自由度の振動に対して優れた除振性能、制振性能、位置決め性能を発揮します。

■パッシブ除振では難しい帯域の振動もカット・パッシブ除振では固有振動による共振が常に問題となるケースがしばしばありますが、アクティブ化によって固有振動による共振を取り除くことができます。
・更にこの帯域で優れた除振性能を得ることも可能です。例えば、パッシブ除振の不得意とする2 Hz近辺の低周波振動は、パッシブ除振と比較して、1／30~1／100以下まで小さくすることができます。

■標準MAPSで10トン以上の装置除振可能最近の精密機器は、機能の充実に伴いますます大型化する傾向にあります。総重量で10トンを越える装置も既に開発されています。装置の大型化によって装置自体の固有振動数を高く保つことが難しくなるため、従来ほとんど問題にならなかった低周波振動に対しても影響を受けやすくなっています。これも低周波振動の除振性能に優れるアクティブ除振システムが必要とされる理由の一つです。

■ステージ等の稼働する装置を搭載しても揺れません・柔らかな弾性体で支持することによって除振するパッシブ除振装置上では、X－Yステージなどの動きを伴う装置を搭載すると、全体が大きく揺れてしまいかえって振動を増やしてしまうことにもなりかねません。
・アクティブ除振では、静止状態を常に保つようにフィードバック制御するので揺れを小さくすることができます。さらに、予めステージの動きを信号として出力できれば、発生する振動が最も小さくなるようにフィードフォワード制御できるので、ほとんど揺れのない環境を提供することも可能です。

型番
この商品には1種類の型番があります

シリーズ
除震装置・除震システムユニットタイプ空気圧制御式アクティブ除振システム MAPSシリーズ

取扱企業
明立精機株式会社

カテゴリ

保護材・保護機器

除振台

保護材・保護機器

防振台

この商品に関する問題を報告する

無料
見積もり費用は無料のため、お気軽にご利用ください

電話番号不要
不必要に電話がかかってくる心配はありません

除振台注目ランキング

除振台の製品194点中、注目ランキング上位6点

優れた振動絶縁特性アクティブ除振台・微振動制御装置 αシリーズ

特許機器株式会社

570人以上が見ています

最新の閲覧: 13時間前

卓上型パッシブ除振台 OS FLOAT TABLEシリーズ TAP/TAPC

特許機器株式会社

460人以上が見ています

最新の閲覧: 3時間前

卓上型パッシブ除振台 OS FLOAT TABLEシリーズ TAH/TAHC

特許機器株式会社

420人以上が見ています

最新の閲覧: 12時間前

デスク型パッシブ除振台 OS FLOAT DESK SERIES DAS

特許機器株式会社

390人以上が見ています

最新の閲覧: 5時間前

デスク型パッシブ除振台 OS FLOAT DESK SERIES SRD/SVD

特許機器株式会社

350人以上が見ています

デスク型パッシブ除振台 OS FLOAT DESK SERIES DHS

特許機器株式会社

340人以上が見ています

最新の閲覧: 21時間前

電話番号不要

何社からも電話が来る心配はありません

一括見積もり

複数社に同じ内容の記入は不要です

返答率96%

96%以上の方が返答を受け取っています

一括見積もりの使い方

除振台注目ランキング (対応の早い企業)

返答時間が24時間以内の企業の中での注目ランキング

除振台ベローズ式パッシブ除振台

藤倉コンポジット株式会社

5.0 企業レビュー

140人以上が見ています

最新の閲覧: 23時間前

返答時間: 18.51時間

除振台アクティブ除振台 (高荷重タイプ)

藤倉コンポジット株式会社

5.0 企業レビュー

140人以上が見ています

最新の閲覧: 19時間前

返答時間: 18.51時間

測定・検査台卓上低床除振台

株式会社柳生商会

40人以上が見ています

最新の閲覧: 3時間前

返答時間: 2.41時間

測定・検査台防振架台 AVT

株式会社柳生商会

40人以上が見ています

返答時間: 2.41時間

測定・検査台低床除振台

株式会社柳生商会

30人以上が見ています

最新の閲覧: 11時間前

返答時間: 2.41時間

測定・検査台除振台 (水平器付)

株式会社柳生商会

20人以上が見ています

返答時間: 2.41時間

電話番号不要

何社からも電話が来る心配はありません

一括見積もり

複数社に同じ内容の記入は不要です

返答率96%

96%以上の方が返答を受け取っています

一括見積もりの使い方

除震装置・除震システムユニットタイプ空気圧制御式アクティブ除振システム MAPSシリーズ品番1件

商品画像	品番	価格 (税抜)	搭載可能質量 (kgf) (4ユニット使用時)	機体寸法 W×D×H (mm)	トッププレート／ベースプレート取付穴数量	1ユニットあたりの機体質量 (kg)	供給空気圧 (MPa)	定常空気消費量 (\|/min)	最大空気消費量 (\|/min)	電源電圧［V)	最大消費電力 (VA)	周囲温度 (℃)	周囲湿度 (%RH)	ばね上構造体固有振動数 (Hz)	除振・制振方式	レベル維持方式	除振性能	制御軸数
	MAPS-008	要見積もり	400~800	235×235×130	4	13	0.6~0.8 (クリーンエアー)	45~65	120	100~240 (AC単相,50/60 Hz)	180	0~40	35~85 (結露しないこと)	200以上 (推奨値)	空気圧制御による振動制御	空気圧制御による位置制御	振動伝達率参照	≦6