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除震装置・除震システム デスクタイプ デスク型アクティブ除振システム ME-Dシリーズ-ME-0806D
除震装置・除震システム デスクタイプ デスク型アクティブ除振システム ME-Dシリーズ-明立精機株式会社

除震装置・除震システム デスクタイプ デスク型アクティブ除振システム ME-Dシリーズ
明立精機株式会社

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この製品について

デスク型のアクティブ除振システム 永い歴史と納入実績のなかで培ってきた除振技術により開発されたME40シリーズがMEシリーズにリニューアル。 コンパクトなボディに6自由度アクティブ除振機構を集約、従来のパッシプタイプでは実現できなかった振動環境を提供します。 近年、特に進歩の目覚ましいナノテクノロジー分野において要求される、高精度・高分解能の精密機器のパフォーマンスを最大限に発揮させるベスト・パートナーです。 概要・特長

■6自由度アクティブ制御

搭載盤および設置面の振動を常時モニタリングし、内蔵のアクチュエータで逆位相の力を加えることで振動制御。3次元 (6自由度) でコントロールします。

■自動アクティブ調整&自動レベリング

アクティブ制御に不可欠なゲイン調整は明立精機オリジナルの制御システムにより自動で最適化されます。

■軽量搭載物にも対応可能

装置構造を見直すことにより小型SPMのような軽量の搭載物でもご利用いただけるようになりました。

■電源のみで動作

使用に必要なユーティリティは電源のみ。コンプレッサーなどの空気源は不要。設置場所、使用環境を選びません。

■アプリケーション

走査プローブ顕微鏡 (SPM) 、コンフォーカルレーザー顕微鏡、干渉計システム、3次元形状測定機、レーザー変位計システム、その他精密測定・精密加工機。

  • シリーズ

    除震装置・除震システム デスクタイプ デスク型アクティブ除振システム ME-Dシリーズ

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除震装置・除震システム デスクタイプ デスク型アクティブ除振システム ME-Dシリーズ 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) システム形状 アクティブ制御範囲 自動機構 ステータス 搭載可能質量 (kg) ※均等荷重 搭載面寸法 (mm) 機体寸法 (mm) ※突起物は除く 機体質量 (kg) ユーティリティ オプション 標準付属品
除震装置・除震システム デスクタイプ デスク型アクティブ除振システム ME-Dシリーズ-品番-ME-0806D

ME-0806D

要見積もり

デスク型

0.5Hz~100Hz (100Hz以上はパッシブ制御)

アクティブ制御調整、レベリング調整

前面LCDコントロールパネルに表示

200

800×600

890×690×700

170

電源 (100V-240V、AC単相、50/60Hz)

上面タップ加工M6-25mm

取扱説明書、電源コード (3m)

フィルターから探す

除振台をフィルターから探すことができます

使用用途

#精密計測 #顕微鏡観察 #半導体検査 #電子顕微鏡 #光学実験 #ナノテク研究 #試験機設置 #理化学機器 #クリーンルーム

制振方式

空気ばね型 ゴム弾性体型 アクティブ型 ハイブリッド型

設置方式

床置き型 卓上型 架台一体型 キャスター付き型

特殊機能

自動レベリング機能付き型 電磁波シールド対応型 クリーン対応型 耐震設計型

搭載可能重量 kg

0 - 50 50 - 150 150 - 500 500 - 1,500 1,500 - 5,000 5,000 - 20,000 20,000 - 30,000

固有振動数 Hz

1 - 3 3 - 6 6 - 13

製品重量 kg

0 - 50 50 - 100 100 - 150 150 - 200 200 - 250

除振性能別着座時高さ mm

100 - 200 200 - 300 300 - 400 400 - 550

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この商品の取り扱い会社情報

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会社概要

明立精機株式会社は、振動やノイズに対処する除振装置や除振システムの開発・製造を主な事業としている企業です。 設立は1968年で、製造は神奈川県座間市に工場、大阪市淀川区西中島にある大阪営業所を置き、海外では韓国と中国に...

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  • 本社所在地: 神奈川県
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