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マスフローコントローラ Z500 series-マスフローコントローラ 10 SCCM ~ 50 SLM
マスフローコントローラ Z500 series-エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社

マスフローコントローラ Z500 series
エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社

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この製品について

■概要

SECシリーズは、堀場エステックの流量計測・制御技術の粋を結集し開発された純国産の高性能マスフローコントローラです。マスフローコントローラは流体の質量流量計を計測・制御します。 搭載された高性能流量センサーおよび高分解能流量制御バルブにより、使用環境の変化や供給圧変動の影響を受けず、外部より電気信号により与えられる流量設定値に流量制御を行います。高精度化、多機能化への対応として、CPUを搭載したデジタルマスフローコントローラもラインナップしています。

■シリーズ特長

・高精度 ±1.0S.P (セットポイント) 保証 ・高速対応 フルレンジ1秒以内 (T98) ・マルチレンジ／マルチガス対応

  • シリーズ

    マスフローコントローラ Z500 series

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マスフローコントローラ Z500 series 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) フルスケール流量 (N2相当) 精度 電源 通信
マスフローコントローラ Z500 series-品番-マスフローコントローラ 10 SCCM ~ 50 SLM

マスフローコントローラ 10 SCCM ~ 50 SLM

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10 SCCM ~ 50 SLM

±1.0% S.P.
(Flow rate＞25% F.S.) ±0.25% F.S.
(Flow rate≦25% F.S.)

±15 VDC
±24 VDC (Z504、Z507series)

Analog (0 - 5 VDC) Digital (RS-485 F-net) DeviceNet™
EtherCAT®

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エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社

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日本パイオニクス株式会社は、常温吸着式精製装置や常温吸着式空気精製装置といったガス精製装置の製造販売、除害筒・検知剤やアンモニア分解除害装置など排ガス処理装置の製造販売、室圧モニターや高精度圧力センサなど各種計測機器の製...

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