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ALN・アルミナセラミックス ダミーウェハー-ダミーウェハー 8インチ
ALN・アルミナセラミックス ダミーウェハー-西村陶業株式会社

ALN・アルミナセラミックス ダミーウェハー
西村陶業株式会社

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この製品について

半導体製造装置には、高剛性、加工精度、耐震性、耐熱性、熱伝導率、表面処理精度、メタルコンタミネーション、耐薬液性、耐ガス性、耐プラズマ性、絶縁性、誘電率、誘電正性、体積抵抗率、低発塵 (パーティクル) 、コスト等の諸特性が求められます。西村陶業は上記の特性に対応出来るセラミックスとして高純度アルミナ (Al203 99.7%以上、Al203 99.9%以上) 、窒化アルミ (ALN) 、イットリア (Y203) を提唱します。高純度アルミナは、その特性により搬送アーム、ウエハーステージ、RF高周波透過窓、等に使用されています。 またメタライズ性に優れた特長を発揮します。窒化アルミは熱伝導性、放熱性、耐熱衝撃性、電気絶縁性に優れており、熱膨張率がシリコンウェハーに近いという特性もあります。 イットリアは耐プラズマ性に大変優れた素材です。高純度ALN (助剤レス) 、高純度アルミナ製ダミーウェハーを製造販売しております。

  • シリーズ

    ALN・アルミナセラミックス ダミーウェハー

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この商品の取り扱い会社情報

西村陶業株式会社

会社概要

西村陶業株式会社は、透光性アルミナセラミックスの製造販売、多孔質・孔質アルミナセラミックスの製造販売、イットリア、ジルコニア、窒化アルミの製造販売などを主な事業内容とする企業です。 1918年に電磁器の製造を目的と...

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  • 本社所在地: 京都府

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