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高周波電源 RF1K-13-CPF-RF1K-13-CPF
高周波電源 RF1K-13-CPF-ジェイエス技研株式会社

高周波電源 RF1K-13-CPF
ジェイエス技研株式会社

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本機は半導体プラズマや、スパッタリング用途に開発された13.56MHz/1kwの高周波電源です。パルス変調機能や位相シフタも内蔵されており、複数の電極をもった真空チャンバに適しています。27MHz、40MHz版もあります。

  • シリーズ

    高周波電源 RF1K-13-CPF

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高周波電源 RF1K-13-CPF 品番1件

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RF1K-13-CPF

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定格出力 W

0 - 500 500 - 1,000 1,000 - 3,000 3,000 - 5,000 5,000 - 10,000 10,000 - 20,000 20,000 - 30,000

発振周波数 MHz

0 - 100 100 - 500 500 - 1,000 1,000 - 3,000

出力電力定格 W

0 - 100 100 - 500 500 - 1,000 1,000 - 2,000 2,000 - 3,000 3,000 - 5,000 5,000 - 6,000

冷却方式

空冷 水冷

出力安定度 %

1 2

使用環境 ℃

0 - 10 10 - 30 30 - 40

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この商品の取り扱い会社情報

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会社概要

ジェイエス技研株式会社は、30年以上にわたり通信機、高周波電源、整合器の開発に携わってきたメンバーにより設立した、高周波機器の専門メーカーです。
高周波の応用範囲は実に広く、半導体製造装置のみならず、通信、医療、...

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  • 本社所在地: 埼玉県
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