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高周波電源 RF1K-13-CPF-RF1K-13-CPF
高周波電源 RF1K-13-CPF-ジェイエス技研株式会社

高周波電源 RF1K-13-CPF
ジェイエス技研株式会社



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この製品について

本機は半導体プラズマや、スパッタリング用途に開発された13.56MHz/1kwの高周波電源です。パルス変調機能や位相シフタも内蔵されており、複数の電極をもった真空チャンバに適しています。27MHz、40MHz版もあります。

  • シリーズ

    高周波電源 RF1K-13-CPF

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高周波電源 RF1K-13-CPF 品番1件

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