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クリーンロボットの製品39点中、注目ランキング上位6点
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次の条件に該当する商品を1件表示しています
商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | モデル | 設置環境 | アーム | 動作範囲 | 動作速度 (最速) | 可搬質量 | ロボット型式 | 被搬送物 | ウェーハ保持方式 | 機械構造形式 | 制御軸 | 駆動源 | モータタイプ | 搬送ハンド | マッピング | 重量 | 制御ケーブル | 制御仕様 (1) | 制御仕様 (2) | 繰り返し精度 | クリーン度 | ユーティリティ | コントローラ型式 | インタフェース |
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
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PHT2200 |
要見積もり |
PHT2200 |
クリーンルーム内 大気中 温度10℃~35℃ 湿度70%RH以下 |
シングルアーム 材質 アルミ・CFRP・セラミック |
X軸:1,050mm θ軸:340deg Z軸:400mm |
X軸:500mm/sec θ軸:200deg/sec Z軸:250mm/sec |
10kg (ハンドベース・ハンド・ワーク重量の合計) |
PHT-R-3-2200 |
~300mmウェーハ |
真空吸着・エッジクランプ・エッジホールド |
水平多関節型 円筒座標系 |
3軸 |
伸縮・旋回・上下 3軸 AC サーボ駆動 |
ACサーボモータ アブソリュートエンコーダ仕様 |
CFRP+PEEK ウエハ落とし込み方式 |
光電式 透過型センサ |
本体重量:約47Kg コントローラ:約8Kg |
3m (標準) 5m・10m |
パラレルインターフェース 入力 32点 出力 32点 |
シリアルインターフェース RS-232C×1回線 |
±0.1 mm以下 |
ISO クラス 2 (0.1μm以上 10個/m³以下) |
定格電圧:単相 AC200~230V±10% 定格電流:5A |
MDF |
RS232C 1回線 デジタルIO 入力:32点・DC24V 8mA 出力:32点・DC24V±3V 0.1A以下 |
クリーンロボットの中で同じ条件の製品
定格電圧: 50 - 250V
クリーンロボットをフィルターから探すことができます
クリーン度
Class 1 Class 2 Class 3可搬質量 kg
0 - 1 1 - 5 5 - 10繰り返し精度 mm
0 - 0.05 0.05 - 0.1 0.1 - 0.2ロボット形状
2軸円筒座標形 3軸円筒座標形 4軸円筒座標形本体質量 kg
0 - 50 50 - 100 100 - 200 200 - 500 500 - 1,000定格電圧 V
0 - 50 50 - 250運転時間 時間
0 - 2 2 - 4 4 - 6 6 - 10 10 - 15 15 - 20清掃幅 mm
0 - 400 400 - 500 500 - 1,000 1,000 - 2,000