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| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | モデル | 設置環境 | アーム | 動作範囲 | 動作速度 (最速) | 可搬質量 | ロボット型式 | 被搬送物 | ウェーハ保持方式 | 機械構造形式 | 制御軸 | 駆動源 | モータタイプ | 搬送ハンド | マッピング | 重量 | 制御ケーブル | 制御仕様 (1) | 制御仕様 (2) | 繰り返し精度 | クリーン度 | ユーティリティ | コントローラ型式 | インタフェース |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
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PHT-R-3 |
要見積もり |
PHT-R-3 |
クリーンルーム内 大気中 温度10℃~35℃ 湿度70％RH以下 |
シングルアーム 材質 アルミ・CFRP・セラミック |
X軸：500mm θ軸：340deg Z軸：300mm ハンド回転：0~180° |
X軸：500mm/sec θ軸：200deg/sec Z軸：250mm/sec ハンド回転：180deg/sec |
3kg (ハンドベース・ハンド・ワーク重量の合計) |
PHT-R-3-2024 |
~300 mmウェーハ |
真空吸着・エッジクランプ・エッジホールド |
水平多関節型 円筒座標系 |
3軸 |
伸縮・旋回・上下 3軸 AC サーボ駆動 |
ACサーボモータ アブソリュートエンコーダ仕様 |
CFRP+PEEK ウエハ落とし込み方式 |
光電式 透過型センサ |
本体重量：約47Kg コントローラ：約 8Kg |
3m (標準) ・5m・10m |
パラレルインターフェース 入力32点 出力32点 |
シリアルインターフェース RS－232C×1回線 |
±0.1mm以下 |
ISO クラス 2 (0.1μm以上 10個/m³以下) |
定格電圧：単相 AC200~230V±10% 定格電流：5A真空：-80kPa以下 10NL/min以上 |
MFD |
RS232C 1回線 デジタルIO 入力：32点・DC24V 8mA 出力：32点・DC24V±3V 0.1A以下 |
