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| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | 装置サイズ | 対応基板サイズ | 処理能力 | 基板固定 | ステージ材質 | アライメント方式 | アライメントステージ | 貼り合せ精度 | 液晶滴下量 | 液晶供給方式 | UV硬化樹脂供給方式 | 到達真空度 | UV仮硬化 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|
ODFシリーズ |
要見積もり |
1,600mm (D) ×1,200mm (W) ×2,200mm (H) |
40mm×30mm~250mm×200mm 0.4~5t |
3~5分程度 |
真空吸着と粘着シートの併用 |
下基板用:アルミ、上基板用:ガラス |
CCDカメラによる自動アライメント (手動アライメントも可能) |
移動量X=±3mm Y=±3mm θ=±3°、真空対応 |
±2μ |
1~5μl (1点) 、任意のピッチで数百点滴下可能 |
シリンジによる供給 |
シリンジによる供給 |
1Pa以下 (1~50Paまで任意に設定可能) |
UV硬化樹脂用ディスペンサー、UV照射ユニット付 |
