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シリーズ
パーティクル検査装置 YPI-Nシリーズ (自動搬送) YPI-N-XYA／YPI-N-ΘA取扱企業
ファーストゲート株式会社カテゴリ
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パーティクルカウンターの製品148点中、注目ランキング上位6点
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次の条件に該当する商品を1件表示しています
| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | 対応基板サイズ | スキャン方式 | スループット | ワーク設置 | 装置外形寸法 | 本体重量 | 消費電力 | 検査対象基板 | 最小検出感度 | メーカー名 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|
YPI-N-XYA／YPI-N-ΘA |
要見積もり |
最大200mm×200mm |
X-Yスキャン／Θ-Xスキャン (螺旋スキャン) |
200mmを約4分／Φ200mmを約3分 |
搬送ロボット (裏面吸着／エッジクランプ) |
W1,320mm×D1,000mm×H1,700mm |
約800kg |
約1.5kW (100V) |
Siウェハ、各種膜付きウェハ |
Siウェハ時、0.1μm |
YGK |
パーティクルカウンターの中で同じ条件の製品
検出方式: 光学式検出型
パーティクルカウンターをフィルターから探すことができます
使用用途
#クリーンルーム #製薬工場 #半導体製造 #食品加工 #医療施設 #建築環境 #空調設備 #環境調査 #電子機器製造測定方式
連続測定型 断続測定型 単一粒子型 複数サイズ型対応範囲
微粒子対応型 中粒子対応型 大粒子対応型測定粒径サイズ μm
0 - 1 1 - 5 5 - 10 10 - 25 25 - 30 30 - 100計数効率 %
30 - 50 50 - 100 100 - 110サンプリング流量 L/min
1 - 3 3 - 100 100 - 110光源
レーザーダイオード 半導体レーザーゼロカウントレベル count/分
0 - 0.01 0.01 - 0.02 0.02 - 0.4使用環境温度 ℃
0 - 5 5 - 10 10 - 35 35 - 40使用環境湿度 %RH
20 - 30 30 - 70 70 - 90 90 - 100
